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网友提问 :公司的AGV转运系统已成功用于晶棒搬运和线切环节,并支持晶圆棒自动量测、粘棒设备上下料等功能。请问,在​​蚀刻、薄膜沉积、光刻​​等更前端的关键制程中,是否已开发出将AGV系统与晶圆缺陷检测设备(如光学检测设备)集成的解决方案?

2025-10-16 19:23:43

赛腾股份 (603283): 回答:
www.tetegu.com

2025-10-16 19:23:43

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赛腾股份

法定名称:
苏州赛腾精密电子股份有限公司
公司简介:
公司前身是苏州赛腾精密电子有限公司,成立于2007年6月19日。
经营范围:
自动化生产设备的研发、设计、生产、销售及技术服务,为客户实现生产智能化提供系统解决方案。高端半导体设备。
注册地址
江苏省苏州市吴中经济开发区郭巷街道淞葭路585号
办公地址
江苏省苏州市吴中经济开发区郭巷街道淞葭路585号
主营收入
77500