网友提问 ：请问公司，在先进 制程领域里，HARP工艺比传统TEOS工艺的优势在哪？HARP工艺里，O3发生器是否为核心系统之一？
2026-08-27 16:31:34
盛美上海半导体最新互动问答
- 尊敬的董秘，请您公布一下贵公司最新的股东人数可以吗？谢谢!
2026-07-30 15:43:11
- 按行业设备厂商公开的测算，一台典型的单片湿法清洗机台改用臭氧水方案后，一年可节省约 58.7 万升硫酸，折合运行成本约 50 万美元。同时含硫废酸属于危废，处理费用按吨计价，且监管趋势持续收紧。硫酸用量越大，这项负担越重。设备厂商公开的对比数据显示，臭氧水方案可将化学品消耗降低约 94%，超纯水消耗降低约 70%，因为省去了大量冲洗硫残留的环节。请问，臭氧水是否比传统SPM更加经济、环保？
2026-07-30 15:43:11
- 公司此前表示预计将向美国和欧洲市场积极开展销售，目前出海情况有哪些最新进展，交付给美国主要制造商的两台新型设备是否已经通过验证？其他国家地区市场销售拓展情况如何
2026-07-15 15:27:52
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盛美上海半导体
法定名称：盛美半导体设备(上海)股份有限公司
公司简介：
2005年5月17日,公司前身盛美半导体设备(上海)有限公司成立。
经营范围：
半导体专用设备的研发、生产和销售。
注册地址中国(上海)自由贸易试验区蔡伦路1690号第4幢
办公地址中国(上海)自由贸易试验区蔡伦路1690号第4幢
主营收入371800
