盛美上海 (688082): 回答：答：首先是清洗设备，公司现阶段(截至去年底)已成功掌握95%的清洗工艺步骤的设备，公司的清洗设备包含单片正面、单片背面、边缘刻蚀、单片高温硫酸、Tahoe单片槽式组合清洗、兆声波清洗、先进IPA干燥技术及超临界CO2清洗等产品，工艺覆盖广泛。现阶段公司目标是将公司的产品做到更实更优，希望公司的设备不仅在中国市场占据主要份额，也在全球市场上被大量采用，为此公司将会继续加大对清洗设备的研发投入。此外，PECVD方面，公司拥有自己的差异化的设计，不同于业界现有的“一个腔体四个卡盘”以及“一个腔体两个卡盘”的设计，盛美采用独特的“一个腔体三个卡盘”的设计，可以兼顾两者的优势，在同一平台上实现多种PECVD工艺。公司具有自主研发独立知识产权的腔体内部设计，可以有效提高薄膜均匀性及薄膜应力控制，减少颗粒。今年公司预计将新增3-5家战略核心客户。谢谢！

2024-01-26 00:00:00