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| 2026-03-31 | 福晶科技 | 31.31万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 长川科技 | 13.39万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 中微公司 | 6.68万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 华峰测控 | 4.94万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 拓荆科技 | 4.56万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 华海清科 | 11.01万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 茂莱光学 | 6.41万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 波长光电 | 17.89万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 京仪装备 | 17.31万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 汇成真空 | 14.74万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 福晶科技 | 28.49万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 北方华创 | 2.47万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 永新光学 | 4.29万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 福光股份 | 39.2万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中微公司 | 5.08万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 芯源微 | 4.88万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 拓荆科技 | 3万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 华海清科 | 7.06万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 伟测科技 | 11.98万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 茂莱光学 | 4.32万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 中科飞测 | 7.58万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 波长光电 | 15.31万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 京仪装备 | 14.33万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 汇成真空 | 12.06万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 珂玛科技 | 12.01万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 福晶科技 | 47.14万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 中微公司 | 7.55万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 芯源微 | 9.28万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 华海清科 | 8.46万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 伟测科技 | 17.8万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 茂莱光学 | 5.48万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 中科飞测 | 18.55万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 波长光电 | 19.36万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 京仪装备 | 23.17万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 汇成真空 | 13.48万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 福晶科技 | 31.13万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 北方华创 | 2.14万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 福光股份 | 27.52万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 芯源微 | 10.47万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 神工股份 | 8.3万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 腾景科技 | 8.7万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 炬光科技 | 9.37万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 拓荆科技 | 4.09万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 华海清科 | 2.25万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 伟测科技 | 9.1万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 茂莱光学 | 3.99万股 | 未变 |
| 2025-06-30 | 中科飞测 | 11.97万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 波长光电 | 7.23万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 京仪装备 | 10.16万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 汇成真空 | 8.95万股 | 新进 |
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