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| 2026-03-31 | 北方华创 | 217.96万股 | |
| 2026-03-31 | 精测电子 | 761.05万股 | |
| 2026-03-31 | 中微公司 | 319.2万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 芯源微 | 572.14万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 盛美上海 | 480.07万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 拓荆科技 | 259.6万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 华海清科 | 571.92万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 富创精密 | 1118.21万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中科飞测 | 631.68万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 京仪装备 | 820万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 北方华创 | 95.63万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 精测电子 | 489.13万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 长川科技 | 1.73万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 中科曙光 | 26.18万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 中微公司 | 157.67万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 芯源微 | 298.22万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 金宏气体 | 54.54万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 寒武纪 | 16.89万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 中芯国际 | 34.14万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 正帆科技 | 630.77万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 盛美上海 | 115.3万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 拓荆科技 | 128.9万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 华海清科 | 290.79万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 华大九天 | 0.65万股 | 不变 |
| 2025-12-31 | 富创精密 | 647.69万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中科飞测 | 262.14万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 华虹公司 | 3.96万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 京仪装备 | 394.54万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 信通电子 | 0.01万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 华电新能 | 25.46万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 山大电力 | 0.03万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 悍高集团 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 天富龙 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 广东建科 | 0.07万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 华新精科 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 艾芬达 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 友升股份 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 建发致新 | 0.04万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 联合动力 | 0.74万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 云汉芯城 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 瑞立科密 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 道生天合 | 0.05万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 西安奕材 | 0.21万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 超颖电子 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 必贝特 | 0.05万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 大明电子 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 丰倍生物 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 德力佳 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 恒坤新材 | 0.06万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 南网数字 | 0.23万股 | 新进 |
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