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| 2024-09-30 | 北方华创 | 111.37万股 | 增持 |
| 2024-09-30 | 精测电子 | 526.78万股 | 增持 |
| 2024-09-30 | 中微公司 | 252.7万股 | 增持 |
| 2024-09-30 | 芯源微 | 517.46万股 | 增持 |
| 2024-09-30 | 正帆科技 | 1141.72万股 | 增持 |
| 2024-09-30 | 盛美上海 | 366.2万股 | 增持 |
| 2024-09-30 | 拓荆科技 | 298.87万股 | 增持 |
| 2024-09-30 | 华海清科 | 250.14万股 | 增持 |
| 2024-09-30 | 富创精密 | 643.75万股 | 增持 |
| 2024-09-30 | 中科飞测 | 630.68万股 | 增持 |
| 2024-06-30 | 北方华创 | 75.21万股 | 减持 |
| 2024-06-30 | 新莱应材 | 313.81万股 | 增持 |
| 2024-06-30 | 精测电子 | 401.62万股 | 增持 |
| 2024-06-30 | 长川科技 | 227.98万股 | 减持 |
| 2024-06-30 | 万业企业 | 621.6万股 | 增持 |
| 2024-06-30 | 中微公司 | 165.97万股 | 减持 |
| 2024-06-30 | 芯源微 | 255.42万股 | 增持 |
| 2024-06-30 | 正帆科技 | 697.48万股 | 减持 |
| 2024-06-30 | 芯碁微装 | 0.95万股 | 减持 |
| 2024-06-30 | 盛美上海 | 275.24万股 | 增持 |
| 2024-06-30 | 拓荆科技 | 189.12万股 | 增持 |
| 2024-06-30 | 华海清科 | 122.32万股 | 减持 |
| 2024-06-30 | 华大九天 | 0.65万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 富创精密 | 386.05万股 | 增持 |
| 2024-06-30 | 微导纳米 | 27.24万股 | 减持 |
| 2024-06-30 | 茂莱光学 | 52.45万股 | 增持 |
| 2024-06-30 | 中科飞测 | 476.02万股 | 增持 |
| 2024-06-30 | 京仪装备 | 4.55万股 | 增持 |
| 2024-03-31 | 北方华创 | 83.86万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 精测电子 | 359.74万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 中微公司 | 176.57万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 芯源微 | 235.35万股 | 增持 |
| 2024-03-31 | 正帆科技 | 714.85万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 盛美上海 | 238.48万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 拓荆科技 | 139.71万股 | 增持 |
| 2024-03-31 | 华海清科 | 149.02万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 富创精密 | 205.11万股 | 增持 |
| 2024-03-31 | 中科飞测 | 416.64万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 北方华创 | 134.67万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 新莱应材 | 295.82万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 精测电子 | 360.93万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 长川科技 | 450.94万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 万业企业 | 32.2万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 中微公司 | 202.56万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 芯源微 | 229.25万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 正帆科技 | 788.25万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 芯碁微装 | 8.85万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 盛美上海 | 295.43万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 拓荆科技 | 134.44万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 华海清科 | 163.27万股 | 增持 |
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