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| 2025-09-30 | 中微公司 | 7.55万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 福晶科技 | 47.14万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 芯源微 | 9.28万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 华海清科 | 8.46万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 伟测科技 | 17.8万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 茂莱光学 | 5.48万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 中科飞测 | 18.55万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 波长光电 | 19.36万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 京仪装备 | 23.17万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 汇成真空 | 13.48万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 炬光科技 | 9.37万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 腾景科技 | 8.7万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 神工股份 | 8.3万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 芯源微 | 10.47万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 福光股份 | 27.52万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 京仪装备 | 10.16万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 北方华创 | 2.14万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 拓荆科技 | 4.09万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 华海清科 | 2.25万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 伟测科技 | 9.1万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 茂莱光学 | 3.99万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 中科飞测 | 11.97万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 波长光电 | 7.23万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 汇成真空 | 8.95万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 精智达 | 6.38万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 福晶科技 | 31.13万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 福光股份 | 17.49万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 京仪装备 | 18.11万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 福晶科技 | 35.16万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 北方华创 | 2.89万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 中微公司 | 4.13万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 华峰测控 | 4.92万股 | 新进 |
| 2025-03-31 | 中芯国际 | 7.02万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 茂莱光学 | 3.99万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 大族激光 | 21.2万股 | 新进 |
| 2025-03-31 | 中科飞测 | 11.64万股 | 增持 |
| 2024-12-31 | 波长光电 | 8.48万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 福晶科技 | 38.07万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 中科飞测 | 10.02万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 北方华创 | 3.12万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 永新光学 | 7.68万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 京仪装备 | 15.66万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 福光股份 | 25.81万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 中微公司 | 6.26万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 芯源微 | 13.04万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 华海诚科 | 7.91万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 茂莱光学 | 5.07万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 中芯国际 | 8.94万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 腾景科技 | 19.26万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 拓荆科技 | 5.14万股 | 新进 |
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