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| 2025-09-30 | 北方华创 | 109.65万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 精测电子 | 539.31万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 中微公司 | 166.75万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 芯源微 | 331.59万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 盛美上海 | 227.48万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 拓荆科技 | 189.84万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 华海清科 | 297.59万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 富创精密 | 586.72万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 中科飞测 | 411.17万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 京仪装备 | 447.24万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 北方华创 | 71.18万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 新莱应材 | 178.78万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 精测电子 | 509.11万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 中微公司 | 170.21万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 芯源微 | 292.35万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 英杰电气 | 2.59万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 正帆科技 | 914.81万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 盛美上海 | 274.22万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 拓荆科技 | 203.17万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 华海清科 | 186.75万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 华大九天 | 0.65万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 富创精密 | 556.3万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 茂莱光学 | 0.17万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 中科飞测 | 367.43万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 京仪装备 | 195.2万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 泽润新能 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 太力科技 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 汉邦科技 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 威高血净 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 古麒绒材 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 优优绿能 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 中策橡胶 | 0.07万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 影石创新 | 0.06万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 海阳科技 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 新恒汇 | 0.04万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 华之杰 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 信通电子 | 0.09万股 | 新进 |
| 2025-03-31 | 北方华创 | 90.95万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 精测电子 | 567.94万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 中微公司 | 204.41万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 芯源微 | 387.98万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 正帆科技 | 982.96万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 盛美上海 | 361.63万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 拓荆科技 | 239.46万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 华海清科 | 222.09万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 富创精密 | 569.38万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 中科飞测 | 462.64万股 | 减持 |
| 2024-12-31 | 北方华创 | 110.42万股 | 减持 |
| 2024-12-31 | 新莱应材 | 1086.76万股 | 增持 |
| 2024-12-31 | 精测电子 | 623.07万股 | 增持 |
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