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| 2024-03-31 | 北方华创 | 83.86万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 精测电子 | 359.74万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 中微公司 | 176.57万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 芯源微 | 235.35万股 | 增持 |
| 2024-03-31 | 正帆科技 | 714.85万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 盛美上海 | 238.48万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 拓荆科技 | 139.71万股 | 增持 |
| 2024-03-31 | 华海清科 | 149.02万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 富创精密 | 205.11万股 | 增持 |
| 2024-03-31 | 中科飞测 | 416.64万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 北方华创 | 134.67万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 新莱应材 | 295.82万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 精测电子 | 360.93万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 长川科技 | 450.94万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 万业企业 | 32.2万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 中微公司 | 202.56万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 芯源微 | 229.25万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 正帆科技 | 788.25万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 芯碁微装 | 8.85万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 盛美上海 | 295.43万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 拓荆科技 | 134.44万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 华海清科 | 163.27万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 富创精密 | 94.64万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 微导纳米 | 88.89万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 茂莱光学 | 20.49万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 中科飞测 | 414.97万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 明阳电气 | 0.12万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 金杨股份 | 0.03万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 豪恩汽电 | 0.03万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 恒工精密 | 0.02万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 国科恒泰 | 0.12万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 盘古智能 | 0.04万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 博盈特焊 | 0.06万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 康鹏科技 | 0.11万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 舜禹股份 | 0.04万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 浙江荣泰 | 0.02万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 敷尔佳 | 0.06万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 长华化学 | 0.04万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 民爆光电 | 0.04万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 蓝箭电子 | 0.06万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 碧兴物联 | 0.02万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 京仪装备 | 0.6万股 | 新进 |
| 2023-09-30 | 北方华创 | 113.87万股 | 增持 |
| 2023-09-30 | 精测电子 | 313.45万股 | 增持 |
| 2023-09-30 | 长川科技 | 606.34万股 | 增持 |
| 2023-09-30 | 正帆科技 | 660万股 | 增持 |
| 2023-09-30 | 盛美上海 | 255.22万股 | 增持 |
| 2023-09-30 | 华海清科 | 143.43万股 | 增持 |
| 2023-09-30 | 中微公司 | 187.79万股 | 增持 |
| 2023-09-30 | 芯源微 | 207.81万股 | 增持 |
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