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| 序号 | 股票 | 持股数量(股) | 持股变动 | 占总股本比例 | 报告期 | |
| 1 | 中微半导体设备 | 250000 | 减持 | 0.999 | 0.0267% | 2026-06-30 |
| 2 | 中微半导体设备 | 370300 | 减持 | 0.999 | 0.0591% | 2026-03-31 |
| 3 | 中微半导体设备 | 437000 | 减持 | 0.999 | 0.0698% | 2025-12-31 |
| 4 | 中微半导体设备 | 488009 | 减持 | 0.999 | 0.0779% | 2025-09-30 |
| 5 | 中微半导体设备 | 835500 | 增持 | 0.999 | 0.1334% | 2025-06-30 |
| 6 | 中微半导体设备 | 808000 | 减持 | 0.999 | 0.1298% | 2025-03-31 |
| 7 | 中微半导体设备 | 892000 | 减持 | 0.999 | 0.1433% | 2024-12-31 |
| 8 | 中微半导体设备 | 1170000 | 增持 | 0.999 | 0.1883% | 2024-09-30 |
| 9 | 中微半导体设备 | 1163000 | 增持 | 0.999 | 0.1872% | 2024-06-30 |
| 10 | 中微半导体设备 | 1160000 | 减持 | 0.999 | 0.1873% | 2024-03-31 |
| 11 | 中微半导体设备 | 1310000 | 新进 | 0.999 | 0.2115% | 2023-12-31 |
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