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| 2026-06-30 | 福晶科技 | 107.2万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 新莱应材 | 100万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 苏大维格 | 124万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 中微半导体设备 | 25万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 芯源微电子 | 32万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 菲沃泰纳米科技 | 105.5万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 裕太微电子 | 33.55万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 茂莱光学 | 22万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 中科飞测 | 33.55万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 波长光电 | 33万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 欧莱新材 | 49万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 汇成真空 | 49.77万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 西安奕材 | 4.44万股 | 不变 |
| 2026-06-30 | 摩尔线程 | 0.49万股 | 不变 |
| 2026-06-30 | 昂瑞微 | 0.23万股 | 不变 |
| 2026-06-30 | 沐曦股份 | 0.35万股 | 不变 |
| 2026-06-30 | 强一股份 | 16.11万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 新广益 | 0.02万股 | 不变 |
| 2026-06-30 | 恒运昌股份 | 0.01万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 北芯生命 | 0.15万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 中电科蓝天科技 | 0.17万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 易思维 | 0.02万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 宏明电子 | 0.07万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 视涯科技 | 0.63万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 泰金新能 | 0.02万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 有研金属复材 | 0.08万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 三瑞智能 | 0.02万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 大普微 | 0.12万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 盛合晶微 | 0.19万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 联讯仪器 | 0.02万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 长进光子 | 0.01万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 臻宝科技 | 0.02万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 福晶科技 | 163万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 苏大维格 | 146.3万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 中微半导体设备 | 37.03万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 芯源微电子 | 67万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 英诺激光 | 107.5万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 拓荆科技 | 30.5万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 燕东微电子股份 | 145万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 茂莱光学 | 36.99万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中科飞测 | 71.39万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 强一股份 | 30.33万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 福晶科技 | 202万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 洪田股份 | 106万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 中微半导体设备 | 43.7万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 芯源微电子 | 85.66万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 腾景科技 | 38.11万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 英诺激光 | 137万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 拓荆科技 | 36.77万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 东田微 | 22万股 | 新进 |
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