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| 2026-03-31 | 福晶科技 | 163万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 苏大维格 | 146.3万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 中微公司 | 37.03万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 芯源微 | 67万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 英诺激光 | 107.5万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 拓荆科技 | 30.5万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 燕东微 | 145万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 茂莱光学 | 36.99万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中科飞测 | 71.39万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 强一股份 | 30.33万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 福晶科技 | 202万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 洪田股份 | 106万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 中微公司 | 43.7万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 芯源微 | 85.66万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 腾景科技 | 38.11万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 英诺激光 | 137万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 拓荆科技 | 36.77万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 东田微 | 22万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 德科立 | 9万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 茂莱光学 | 30.75万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 中科飞测 | 81.55万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 波长光电 | 91.5万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 汇成真空 | 66万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 屹唐股份 | 0.35万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 山大电力 | 0.03万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 汉桑科技 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 广东建科 | 0.07万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 艾芬达 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 昊创瑞通 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 建发致新 | 0.04万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 联合动力 | 0.74万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 云汉芯城 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 西安奕材 | 4.44万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 必贝特 | 0.28万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 南网数字 | 0.23万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 摩尔线程 | 0.49万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 百奥赛图 | 0.04万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 昂瑞微 | 0.23万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 沐曦股份 | 0.35万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 纳百川 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 天溯计量 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 健信超导 | 0.03万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 强一股份 | 0.03万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 新广益 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 福晶科技 | 241万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 奥普光电 | 141万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 阿石创 | 179万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 中微公司 | 48.8万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 芯源微 | 100.01万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 拓荆科技 | 55.3万股 | 减持 |
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