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| 2025-09-30 | 晶晨股份 | 9.14万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 广钢气体 | 81.59万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 紫光国微 | 9.95万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 鼎龙股份 | 28.93万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 中微公司 | 3.51万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 芯原股份 | 5.26万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 复旦微电 | 16.87万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 海光信息 | 4.4万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 晶合集成 | 25.69万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 鼎龙股份 | 17.93万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 北方华创 | 1.06万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 安集科技 | 3.6万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 中微公司 | 2.54万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 江丰电子 | 6.5万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 紫光国微 | 3.93万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 芯源微 | 4.51万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 复旦微电 | 8.37万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 臻镭科技 | 8.87万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 精智达 | 3.75万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 菲利华 | 8.99万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 兴福电子 | 0.13万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 广钢气体 | 51.49万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 中科飞测 | 4.83万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 国博电子 | 2.16万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 华海清科 | 2.25万股 | 减持 |
| 2025-03-31 | 拓荆科技 | 3.41万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 福晶科技 | 12.18万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 鼎龙股份 | 20.79万股 | 新进 |
| 2025-03-31 | 江丰电子 | 8.24万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 芯源微 | 5.66万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 安集科技 | 2.67万股 | 新进 |
| 2025-03-31 | 中微公司 | 3.01万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 华海清科 | 3.48万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 北方华创 | 1.42万股 | 增持 |
| 2025-03-31 | 广钢气体 | 54.82万股 | 增持 |
| 2024-12-31 | 汇成真空 | 1.71万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 广钢气体 | 43.76万股 | 增持 |
| 2024-12-31 | 精智达 | 3.24万股 | 增持 |
| 2024-12-31 | 芯源微 | 3.24万股 | 增持 |
| 2024-12-31 | 联瑞新材 | 5.75万股 | 增持 |
| 2024-12-31 | 寒武纪 | 0.31万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 中科飞测 | 3.67万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 中芯国际 | 3.88万股 | 增持 |
| 2024-12-31 | 恒玄科技 | 1.15万股 | 增持 |
| 2024-12-31 | 华海诚科 | 3.16万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 金海通 | 3.35万股 | 新进 |
| 2024-12-31 | 拓荆科技 | 1.95万股 | 增持 |
| 2024-12-31 | 华海清科 | 2.38万股 | 增持 |
| 2024-12-31 | 海光信息 | 3.75万股 | 增持 |
| 2024-12-31 | 中微公司 | 2.57万股 | 增持 |
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