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| 序号 | 股票 | 持股数量(股) | 持股变动 | 占总股本比例 | 报告期 | |
| 1 | 中微半导体设备 | 1218072 | 增持 | 0.999 | 0.1300% | 2026-06-30 |
| 2 | 中微半导体设备 | 464651 | 增持 | 0.999 | 0.0742% | 2026-03-31 |
| 3 | 中微半导体设备 | 183991 | 减持 | 0.999 | 0.0294% | 2025-12-31 |
| 4 | 中微半导体设备 | 372783 | 增持 | 0.999 | 0.0595% | 2025-09-30 |
| 5 | 中微半导体设备 | 34283 | 增持 | 0.999 | 0.0055% | 2025-06-30 |
| 6 | 中微半导体设备 | 34097 | 增持 | 0.999 | 0.0055% | 2025-03-31 |
| 7 | 中微半导体设备 | 31096 | 增持 | 0.999 | 0.0050% | 2024-12-31 |
| 8 | 中微半导体设备 | 12703 | 新进 | 0.999 | 0.0020% | 2024-09-30 |
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