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| 2026-03-31 | 北方华创 | 27.72万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 南大光电 | 78.15万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 长川科技 | 50.21万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 江丰电子 | 24万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中微公司 | 46.47万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 安集科技 | 13.33万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 沪硅产业 | 216.71万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 拓荆科技 | 19.07万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 华海清科 | 27.98万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中科飞测 | 23.75万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 必贝特 | 0.22万股 | 未变 |
| 2026-03-31 | 中国铀业 | 0.13万股 | 未变 |
| 2026-03-31 | 摩尔线程 | 0.13万股 | 未变 |
| 2026-03-31 | 沐曦股份 | 0.02万股 | 未变 |
| 2026-03-31 | 视涯科技 | 0.63万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 康强电子 | 12.63万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 北方华创 | 11.78万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 雅克科技 | 13.74万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 上海新阳 | 10.54万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 南大光电 | 33.23万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 长川科技 | 21.35万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 晶瑞电材 | 51.58万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 江丰电子 | 10.2万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 有研新材 | 28.49万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 三佳科技 | 6.09万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 江化微 | 11.13万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中微公司 | 18.4万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 安集科技 | 5.66万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 芯源微 | 7.77万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 华峰测控 | 4.54万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 神工股份 | 4.9万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 沪硅产业 | 92.16万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 立昂微 | 25.82万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中晶科技 | 3.74万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 盛美上海 | 4.59万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 天岳先进 | 10.32万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 拓荆科技 | 8.1万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 华海清科 | 11.89万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 广立微 | 4.8万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 联动科技 | 1.36万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 富创精密 | 7.35万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 有研硅 | 18万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 金海通 | 1.73万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 华海诚科 | 2.31万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中船特气 | 7.64万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 晶升股份 | 3.31万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中科飞测 | 10.11万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 中巨芯 | 28.4万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 京仪装备 | 4.84万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 艾森股份 | 2.96万股 | 增持 |
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