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| 2026-06-30 | 北方华创 | 0.89万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 鼎龙股份 | 8.7万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 精测电子 | 20.07万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 长川科技 | 6.29万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 江丰电子 | 6.59万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 百傲化学 | 0.03万股 | 不变 |
| 2026-06-30 | 中微公司 | 14.76万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 芯源微 | 15.51万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 华峰测控 | 7.55万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 英杰电气 | 8.91万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 中芯国际 | 4.27万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 芯碁微装 | 2.84万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 盛美上海 | 8.68万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 拓荆科技 | 5.82万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 华海清科 | 16.33万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 富创精密 | 13.21万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 微导纳米 | 32.83万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 中科飞测 | 17.11万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 精智达 | 3.46万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 华虹宏力 | 8.2万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 波长光电 | 0.1万股 | 不变 |
| 2026-06-30 | 京仪装备 | 15.89万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 联讯仪器 | 0.01万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 嘉德利 | 0.06万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 长进光子 | 0.01万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 臻宝科技 | 0.01万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 精测电子 | 8.9万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中微公司 | 2.82万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 芯源微 | 6.71万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 华峰测控 | 2.63万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 芯碁微装 | 3.98万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 拓荆科技 | 3.05万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 金海通 | 2.63万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 中科飞测 | 5.51万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 精智达 | 4.87万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 微导纳米 | 11.66万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 北方华创 | 1.05万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 精测电子 | 6.11万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 长川科技 | 4.44万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 百傲化学 | 0.03万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 中微公司 | 0.96万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 芯源微 | 3.53万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 华峰测控 | 1.15万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 拓荆科技 | 1.67万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 骄成超声 | 2.2万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 微导纳米 | 7.01万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 茂莱光学 | 0.73万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 中科飞测 | 3.51万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 精智达 | 2.34万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 波长光电 | 0.1万股 | 新进 |
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