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| 2026-03-31 | 芯碁微装 | 3.98万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 精智达 | 4.87万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 精测电子 | 8.9万股 | |
| 2026-03-31 | 中微公司 | 2.82万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 芯源微 | 6.71万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 华峰测控 | 2.63万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中科飞测 | 5.51万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 拓荆科技 | 3.05万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 微导纳米 | 11.66万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 金海通 | 2.63万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 拓荆科技 | 1.67万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 华峰测控 | 1.15万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 芯源微 | 3.53万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中微公司 | 0.96万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 北方华创 | 1.05万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 长川科技 | 4.44万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 精测电子 | 6.11万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 骄成超声 | 2.2万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 微导纳米 | 7.01万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 百傲化学 | 0.03万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 汇成真空 | 0.08万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 京仪装备 | 4.51万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 波长光电 | 0.1万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 精智达 | 2.34万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中科飞测 | 3.51万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 茂莱光学 | 0.73万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 北方华创 | 0.4万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 中微公司 | 0.61万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 芯源微 | 1.3万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 正帆科技 | 3.73万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 华峰测控 | 0.65万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 盛美上海 | 0.95万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 拓荆科技 | 0.72万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 华海清科 | 0.76万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 中科飞测 | 1.65万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 精智达 | 0.52万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 开特股份 | 1.65万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 卓兆点胶 | 0.62万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 前进科技 | 0.88万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 美心翼申 | 0.9万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 太湖远大 | 0.67万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 智新电子 | 1万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 豪声电子 | 0.91万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 百甲科技 | 2.69万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 博迅生物 | 0.73万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 宏裕包材 | 1.14万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 中寰股份 | 1.36万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 华阳变速 | 1.88万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 泓禧科技 | 0.96万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 鑫汇科 | 0.68万股 | 新进 |
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