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| 2026-09-30 | 长川科技 | 97.92万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 北方华创 | 60.3万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 中微公司 | 117.21万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 芯源微 | 113.64万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 华峰测控 | 103.3万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 拓荆科技 | 59.96万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 华海清科 | 146.39万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 富创精密 | 214.34万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 中科飞测 | 113.24万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 华虹宏力 | 173.88万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 中微公司 | 50.09万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 江丰电子 | 10.48万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 长川科技 | 23.64万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 精测电子 | 17.32万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 上海新阳 | 23.81万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 中科飞测 | 60.11万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 安集科技 | 16.62万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 芯源微 | 41.98万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 华峰测控 | 33.28万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 拓荆科技 | 17.53万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 华海清科 | 55.28万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 富创精密 | 75.72万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 精智达 | 3.18万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 华虹宏力 | 53.02万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 北方华创 | 21.04万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 安集科技 | 3.63万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 华虹宏力 | 7.9万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中科飞测 | 8.12万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 北方华创 | 2.92万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 上海新阳 | 7.9万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 中微公司 | 4.1万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 芯源微 | 4.93万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 拓荆科技 | 3.69万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 华海清科 | 5.04万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 富创精密 | 9.63万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 盛美上海 | 0.75万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 中芯国际 | 1.75万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 寒武纪 | 0.11万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 芯源微 | 1.65万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 安集科技 | 1.35万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 中微公司 | 1.27万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 长川科技 | 1.02万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 拓荆科技 | 1.41万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 华海清科 | 2.03万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 海光信息 | 0.91万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 富创精密 | 2.52万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 微导纳米 | 0.75万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 中科飞测 | 3.09万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 精智达 | 0.48万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 华虹宏力 | 1.43万股 | 新进 |
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