| 2026-09-30 | 中际旭创 | 13.72万股 | 减持 |
| 2026-09-30 | 新易盛 | 17.03万股 | 新进 |
| 2026-09-30 | 工业富联 | 182.03万股 | 新进 |
| 2026-09-30 | 药明康德 | 39.2万股 | 新进 |
| 2026-09-30 | 寒武纪 | 6.45万股 | 减持 |
| 2026-09-30 | 中科飞测 | 30.9万股 | 新进 |
| 2026-09-30 | 国际复材 | 270.85万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 蘅东光 | 17.1万股 | 减持 |
| 2026-09-30 | 联讯仪器 | 6.66万股 | 减持 |
| 2026-09-30 | 长鑫科技 | 242.17万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 盈峰环境 | 605.89万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 大族激光 | 0.02万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 航天电器 | 17.66万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 光迅科技 | 7.18万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 江海股份 | 7.86万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 新莱应材 | 108.58万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 华正新材 | 1.05万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 宏和科技 | 101.6万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 兆易创新 | 22.47万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 中微公司 | 24.73万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 晶晨股份 | 17.1万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 寒武纪 | 11.89万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 中芯国际 | 32.06万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 芯碁微装 | 5.89万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 新锐股份 | 17.45万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 炬光科技 | 6.54万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 富创精密 | 2.91万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 伟测科技 | 0.08万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 宏景科技 | 41.25万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 源杰科技 | 5.94万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 杰华特 | 138.07万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 金海通 | 29.79万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 国际复材 | 198.88万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 广合科技 | 6.68万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 珂玛科技 | 49.68万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 屹唐股份 | 159.15万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 超颖电子 | 0.02万股 | 不变 |
| 2026-06-30 | 中国铀业 | 0.23万股 | 不变 |
| 2026-06-30 | 摩尔线程 | 0.39万股 | 不变 |
| 2026-06-30 | 百奥赛图 | 0.04万股 | 不变 |
| 2026-06-30 | 昂瑞微 | 0.05万股 | 不变 |
| 2026-06-30 | 沐曦股份 | 0.28万股 | 不变 |
| 2026-06-30 | 优迅股份 | 0.01万股 | 不变 |
| 2026-06-30 | 强一股份 | 0.03万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 新广益 | 0.02万股 | 不变 |
| 2026-06-30 | 蘅东光 | 17.82万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 联讯仪器 | 9.13万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 中材科技 | 119.28万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 中际旭创 | 21.3万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 天孚通信 | 29.58万股 | 新进 |
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