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| 序号 | 股票 | 持股数量(股) | 持股变动 | 占总股本比例 | 报告期 | |
| 1 | 中微半导体设备 | 765003 | 增持 | 0.999 | 0.0816% | 2026-06-30 |
| 2 | 中微半导体设备 | 457500 | 增持 | 0.999 | 0.0731% | 2026-03-31 |
| 3 | 中微半导体设备 | 276600 | 增持 | 0.999 | 0.0442% | 2025-12-31 |
| 4 | 中微半导体设备 | 256300 | 增持 | 0.999 | 0.0409% | 2025-09-30 |
| 5 | 中微半导体设备 | 149100 | 增持 | 0.999 | 0.0238% | 2025-06-30 |
| 6 | 中微半导体设备 | 92500 | 减持 | 0.999 | 0.0149% | 2025-03-31 |
| 7 | 中微半导体设备 | 110400 | 减持 | 0.999 | 0.0177% | 2024-12-31 |
| 8 | 中微半导体设备 | 117500 | 增持 | 0.999 | 0.0189% | 2024-09-30 |
| 9 | 中微半导体设备 | 33100 | 新进 | 0.999 | 0.0053% | 2024-07-29 |
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