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| 2025-09-30 | 北方华创 | 14.4万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 南大光电 | 41.16万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 长川科技 | 26.27万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 中微公司 | 25.63万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 安集科技 | 7.01万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 芯源微 | 9.59万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 沪硅产业 | 98.2万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 拓荆科技 | 8.32万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 华海清科 | 14.7万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 中科飞测 | 13.33万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 影石创新 | 0.01万股 | 不变 |
| 2025-09-30 | 新恒汇 | 0.02万股 | 不变 |
| 2025-09-30 | 屹唐股份 | 0.09万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 华电新能 | 3.85万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 山大电力 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 康强电子 | 9.1万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 北方华创 | 6.2万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 雅克科技 | 9.89万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 上海新阳 | 7.6万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 南大光电 | 23.95万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 长川科技 | 15.29万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 晶瑞电材 | 29.36万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 江丰电子 | 7.35万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 三佳科技 | 4.39万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 先导基电 | 22.57万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 江化微 | 8.02万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 彤程新材 | 8.3万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 至纯科技 | 9.31万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 中微公司 | 14.91万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 安集科技 | 4.07万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 芯源微 | 5.57万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 华峰测控 | 2.8万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 神工股份 | 3.55万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 沪硅产业 | 57.09万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 立昂微 | 18.6万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 中晶科技 | 2.25万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 盛美上海 | 3.06万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 天岳先进 | 5.96万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 拓荆科技 | 4.85万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 华海清科 | 5.73万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 广立微 | 3.47万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 联动科技 | 0.97万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 富创精密 | 5.3万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 有研硅 | 12.96万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 金海通 | 1.25万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 华海诚科 | 1.67万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 中船特气 | 5.49万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 晶升股份 | 2.39万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 中科飞测 | 7.76万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 中巨芯 | 20.47万股 | 增持 |
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