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| 序号 | 股票 | 持股数量(股) | 持股变动 | 占总股本比例 | 报告期 | |
| 1 | 中微半导体设备 | 5533683 | 增持 | 0.999 | 0.5906% | 2026-06-30 |
| 2 | 中微半导体设备 | 2260918 | 增持 | 0.999 | 0.3611% | 2026-03-31 |
| 3 | 中微半导体设备 | 790835 | 减持 | 0.999 | 0.1263% | 2025-12-31 |
| 4 | 中微半导体设备 | 863545 | 增持 | 0.999 | 0.1379% | 2025-09-30 |
| 5 | 中微半导体设备 | 385463 | 增持 | 0.999 | 0.0616% | 2025-06-30 |
| 6 | 中微半导体设备 | 351736 | 减持 | 0.999 | 0.0565% | 2025-03-31 |
| 7 | 中微半导体设备 | 469827 | 增持 | 0.999 | 0.0755% | 2024-12-31 |
| 8 | 中微半导体设备 | 59639 | 增持 | 0.999 | 0.0096% | 2024-09-30 |
| 9 | 中微半导体设备 | 21423 | 新进 | 0.999 | 0.0035% | 2024-06-11 |
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