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| 2026-03-31 | 北方华创 | 133.5万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 南大光电 | 378.04万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 长川科技 | 243.85万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 江丰电子 | 115.97万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中微公司 | 226.09万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 安集科技 | 64.12万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 沪硅产业 | 1052.77万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 拓荆科技 | 92.21万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 华海清科 | 135.22万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中科飞测 | 114.82万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 康强电子 | 52.89万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 北方华创 | 49.35万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 雅克科技 | 57.49万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 上海新阳 | 44.16万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 南大光电 | 139.23万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 长川科技 | 89.28万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 晶瑞电材 | 215.75万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 江丰电子 | 42.82万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 有研新材 | 119.43万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 三佳科技 | 25.54万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 江化微 | 46.63万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中微公司 | 79.08万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 安集科技 | 23.78万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 芯源微 | 32.51万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 华峰测控 | 19.12万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 神工股份 | 20.59万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 沪硅产业 | 388.69万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 立昂微 | 108.11万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中晶科技 | 15.65万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 盛美上海 | 19.42万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 天岳先进 | 43.59万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 拓荆科技 | 34.05万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 华海清科 | 50.4万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 广立微 | 20.15万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 联动科技 | 5.69万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 富创精密 | 30.86万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 有研硅 | 75.43万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 金海通 | 7.26万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 华海诚科 | 9.07万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中船特气 | 32.01万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 晶升股份 | 13.94万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中科飞测 | 42.34万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 中巨芯 | 119.09万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 京仪装备 | 20.39万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 艾森股份 | 12.43万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 上海合晶 | 40.48万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 龙图光罩 | 8.07万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 珂玛科技 | 35.1万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 矽电股份 | 2.52万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 信通电子 | 0.01万股 | 减持 |
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