| 2025-09-30 | 北方华创 | 48.72万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 南大光电 | 138.52万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 长川科技 | 88.29万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 中微公司 | 86.35万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 安集科技 | 23.79万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 芯源微 | 32.49万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 沪硅产业 | 330.6万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 拓荆科技 | 27.96万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 华海清科 | 49.98万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 中科飞测 | 44.81万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 康强电子 | 23.54万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 北方华创 | 16.04万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 雅克科技 | 25.6万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 上海新阳 | 19.66万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 南大光电 | 61.92万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 长川科技 | 39.55万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 晶瑞电材 | 75.97万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 江丰电子 | 19.02万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 三佳科技 | 11.35万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 先导基电 | 58.37万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 江化微 | 20.74万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 彤程新材 | 21.48万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 至纯科技 | 24.07万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 中微公司 | 38.55万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 安集科技 | 10.52万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 芯源微 | 14.4万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 华峰测控 | 7.28万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 神工股份 | 9.17万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 沪硅产业 | 147.73万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 立昂微 | 48.14万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 中晶科技 | 5.85万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 盛美上海 | 7.91万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 天岳先进 | 15.4万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 拓荆科技 | 12.55万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 华海清科 | 14.85万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 广立微 | 8.98万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 联动科技 | 2.52万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 富创精密 | 13.73万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 有研硅 | 33.52万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 金海通 | 3.22万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 华海诚科 | 4.31万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 中船特气 | 14.22万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 晶升股份 | 6.19万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 中科飞测 | 20.08万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 中巨芯 | 52.97万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 京仪装备 | 7.53万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 艾森股份 | 4.71万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 上海合晶 | 17.87万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 珂玛科技 | 5.48万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 天和磁材 | 0.02万股 | 减持 |
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