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| 2026-09-30 | 北方华创 | 440.81万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 长川科技 | 556.54万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 江丰电子 | 264.92万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 中微公司 | 945.2万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 芯源微 | 202.41万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 华峰测控 | 176.19万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 盛美上海 | 181.68万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 拓荆科技 | 249.09万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 华海清科 | 453.93万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 中科飞测 | 307.59万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 康强电子 | 216.38万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 北方华创 | 256.77万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 雅克科技 | 202.14万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 上海新阳 | 160.14万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 南大光电 | 504.56万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 长川科技 | 324.05万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 晶瑞电材 | 822.42万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 江丰电子 | 154.91万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 有研新材 | 433.62万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 江化微 | 161.02万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 至纯科技 | 224.22万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 中微公司 | 553.37万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 安集科技 | 133.24万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 芯源微 | 118.03万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 华峰测控 | 102.78万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 神工股份 | 74.76万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 沪硅产业 | 1209.35万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 立昂微 | 433.5万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 盛美上海 | 106.23万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 天岳先进 | 160.59万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 拓荆科技 | 122.43万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 华海清科 | 289.68万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 广立微 | 87.71万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 联动科技 | 29.86万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 富创精密 | 138.46万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 有研硅 | 274.47万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 金海通 | 37.87万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 华海诚科 | 62.38万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 中船特气 | 116.22万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 晶升股份 | 50.7万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 中科飞测 | 179.36万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 中巨芯 | 432.39万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 京仪装备 | 73.81万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 艾森股份 | 63.01万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 上海合晶 | 146.93万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 龙图光罩 | 48.93万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 珂玛科技 | 127.24万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 先锋精科 | 74.07万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 兴福电子 | 131.68万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 矽电股份 | 15.23万股 | 增持 |
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