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| 2025-09-30 | 三花智控 | 69.33万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 北方华创 | 15.19万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 科达利 | 15.24万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 中际旭创 | 13.59万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 中微公司 | 27.7万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 芯源微 | 51.59万股 | 不变 |
| 2025-09-30 | 拓荆科技 | 31.36万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 华海清科 | 29.25万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 海光信息 | 11.24万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 中科飞测 | 60.1万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 普利特 | 130.93万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 北方华创 | 11.72万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 鼎捷数智 | 18.54万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 兆易创新 | 22.43万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 中微公司 | 30.89万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 西部超导 | 23.2万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 天奈科技 | 32.98万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 芯源微 | 51.59万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 华峰测控 | 15.04万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 四方光电 | 31.7万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 瑞可达 | 22.48万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 迈普医学 | 22.86万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 澳华内镜 | 10.47万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 拓荆科技 | 40.07万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 峰岹科技 | 14.33万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 华海清科 | 22.39万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 海光信息 | 33.6万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 骄成超声 | 15.99万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 富创精密 | 26.99万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 鼎泰高科 | 35.62万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 裕太微 | 12.8万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 中科飞测 | 63.28万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 芯动联科 | 20.28万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 华虹公司 | 24.14万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 安培龙 | 17.85万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 天和磁材 | 0.02万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 钧崴电子 | 0.07万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 赛分科技 | 0.08万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 惠通科技 | 0.03万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 思看科技 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 超研股份 | 0.07万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 富岭股份 | 0.07万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 兴福电子 | 0.1万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 海博思创 | 0.06万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 亚联机械 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 毓恬冠佳 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 汇通控股 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 永杰新材 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 汉朔科技 | 0.04万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 弘景光电 | 0.02万股 | 新进 |
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