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| 2026-03-31 | 北方华创 | 14.71万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 精测电子 | 56.51万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 中微公司 | 29.27万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 芯源微 | 54.98万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 拓荆科技 | 25.44万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 华海清科 | 30.72万股 | 未变 |
| 2026-03-31 | 燕东微 | 150.99万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 源杰科技 | 5.74万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 中科飞测 | 42.48万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 华虹公司 | 37.77万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 北方华创 | 15.19万股 | 未变 |
| 2025-12-31 | 中际旭创 | 10.16万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 新易盛 | 9.2万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 中微公司 | 25.68万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 芯源微 | 57.59万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 寒武纪 | 3.08万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 震裕科技 | 16.64万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 厦钨新能 | 24.63万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 拓荆科技 | 24.03万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 峰岹科技 | 9.06万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 纳芯微 | 11.15万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 华海清科 | 30.72万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 骄成超声 | 22.1万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 富创精密 | 33.3万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 燕东微 | 74.56万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 源杰科技 | 6.96万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 龙迅股份 | 34.46万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 索辰科技 | 8.8万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 中科飞测 | 44.68万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 华虹公司 | 16.48万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 安培龙 | 2.91万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 信通电子 | 0.01万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 屹唐股份 | 0.31万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 华电新能 | 13.07万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 技源集团 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 山大电力 | 0.03万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 悍高集团 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 汉桑科技 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 天富龙 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 广东建科 | 0.07万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 华新精科 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 艾芬达 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 昊创瑞通 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 友升股份 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 建发致新 | 0.04万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 联合动力 | 0.45万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 云汉芯城 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 瑞立科密 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 道生天合 | 0.05万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 禾元生物 | 1.37万股 | 新进 |
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