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| 序号 | 股票 | 持股数量(股) | 持股变动 | 占总股本比例 | 报告期 | |
| 1 | 中微半导体设备 | 3740757 | 增持 | 0.999 | 0.3992% | 2026-06-30 |
| 2 | 中微半导体设备 | 1634377 | 增持 | 0.999 | 0.2610% | 2026-03-31 |
| 3 | 中微半导体设备 | 731560 | 减持 | 0.999 | 0.1168% | 2025-12-31 |
| 4 | 中微半导体设备 | 734769 | 增持 | 0.999 | 0.1173% | 2025-09-30 |
| 5 | 中微半导体设备 | 153133 | 增持 | 0.999 | 0.0245% | 2025-06-30 |
| 6 | 中微半导体设备 | 123695 | 减持 | 0.999 | 0.0199% | 2025-03-31 |
| 7 | 中微半导体设备 | 173137 | 增持 | 0.999 | 0.0278% | 2024-12-31 |
| 8 | 中微半导体设备 | 92666 | 减持 | 0.999 | 0.0149% | 2024-09-30 |
| 9 | 中微半导体设备 | 99612 | 增持 | 0.999 | 0.0160% | 2024-06-30 |
| 10 | 中微半导体设备 | 83368 | 增持 | 0.999 | 0.0135% | 2024-03-31 |
| 11 | 中微半导体设备 | 66600 | 新进 | 0.999 | 0.0108% | 2023-12-05 |
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