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| 2025-09-30 | 北方华创 | 41.03万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 南大光电 | 121.95万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 长川科技 | 80.64万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 中微公司 | 73.48万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 安集科技 | 23.64万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 芯源微 | 31.69万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 沪硅产业 | 291.34万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 拓荆科技 | 24.42万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 华海清科 | 41.1万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 中科飞测 | 40.39万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 康强电子 | 9.38万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 北方华创 | 6.39万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 雅克科技 | 10.19万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 上海新阳 | 7.83万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 南大光电 | 24.67万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 长川科技 | 15.75万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 晶瑞电材 | 30.24万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 江丰电子 | 7.58万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 三佳科技 | 4.52万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 先导基电 | 23.25万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 江化微 | 8.25万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 彤程新材 | 8.55万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 至纯科技 | 9.59万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 中微公司 | 15.31万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 安集科技 | 4.2万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 芯源微 | 5.74万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 华峰测控 | 2.9万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 神工股份 | 3.65万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 沪硅产业 | 58.84万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 立昂微 | 19.17万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 中晶科技 | 2.31万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 盛美上海 | 3.15万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 天岳先进 | 6.14万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 拓荆科技 | 4.99万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 华海清科 | 5.92万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 广立微 | 3.57万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 联动科技 | 1.01万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 富创精密 | 5.46万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 有研硅 | 13.35万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 金海通 | 1.28万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 华海诚科 | 1.72万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 中船特气 | 5.66万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 晶升股份 | 2.47万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 中科飞测 | 8万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 中巨芯 | 21.09万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 京仪装备 | 3万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 艾森股份 | 1.9万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 上海合晶 | 7.13万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 珂玛科技 | 2.17万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 天和磁材 | 0.02万股 | 减持 |
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