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| 2026-03-31 | 北方华创 | 97.22万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 南大光电 | 274.95万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 长川科技 | 175.75万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 江丰电子 | 84.82万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中微公司 | 163.44万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 安集科技 | 46.08万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 沪硅产业 | 756.22万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 拓荆科技 | 67.44万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 华海清科 | 98.03万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中科飞测 | 84.21万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 康强电子 | 48.7万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 北方华创 | 45.02万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 雅克科技 | 52.63万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 上海新阳 | 40.66万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 南大光电 | 127.65万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 长川科技 | 82.18万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 晶瑞电材 | 197.99万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 江丰电子 | 39.4万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 有研新材 | 109.42万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 三佳科技 | 23.51万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 江化微 | 42.75万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 彤程新材 | 7.93万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 中微公司 | 73.16万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 安集科技 | 21.11万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 芯源微 | 29.17万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 华峰测控 | 17.38万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 神工股份 | 18.55万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 沪硅产业 | 354.49万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 立昂微 | 99.37万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中晶科技 | 14.49万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 盛美上海 | 17.59万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 天岳先进 | 39.83万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 拓荆科技 | 31.28万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 华海清科 | 45.26万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 广立微 | 18.29万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 联动科技 | 5.38万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 富创精密 | 27.91万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 有研硅 | 69.52万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 金海通 | 6.76万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 华海诚科 | 8.02万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中船特气 | 29.54万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 晶升股份 | 12.99万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中科飞测 | 38.2万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 中巨芯 | 109.66万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 京仪装备 | 18.34万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 艾森股份 | 11.67万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 上海合晶 | 37.85万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 龙图光罩 | 6.67万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 珂玛科技 | 31.19万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 矽电股份 | 1.99万股 | 新进 |
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