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| 2024-09-30 | 华海清科 | 3.12万股 | 增持 |
| 2024-09-30 | 北方华创 | 4.14万股 | 减持 |
| 2024-09-30 | 雅克科技 | 6.31万股 | 减持 |
| 2024-09-30 | 南大光电 | 11.99万股 | 减持 |
| 2024-09-30 | 长川科技 | 8.31万股 | 减持 |
| 2024-09-30 | 中微公司 | 9.27万股 | 减持 |
| 2024-09-30 | 芯源微 | 3.52万股 | 增持 |
| 2024-09-30 | 沪硅产业 | 36.4万股 | 减持 |
| 2024-09-30 | 立昂微 | 11.85万股 | 减持 |
| 2024-09-30 | 拓荆科技 | 3.07万股 | 减持 |
| 2024-06-30 | 立昂微 | 12.77万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 金宏气体 | 6.93万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 沪硅产业 | 39.18万股 | 增持 |
| 2024-06-30 | 神工股份 | 2.03万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 广立微 | 2.36万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 华峰测控 | 1.94万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 芯源微 | 2.62万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 安集科技 | 2.14万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 中微公司 | 9.96万股 | 增持 |
| 2024-06-30 | 至纯科技 | 6.44万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 江化微 | 5.5万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 中晶科技 | 1.19万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 芯碁微装 | 1.88万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 盛美上海 | 2.08万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 晶升股份 | 1.03万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 中船特气 | 1.66万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 华海诚科 | 0.56万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 有研硅 | 5.96万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 耐科装备 | 0.57万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 富创精密 | 3.67万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 华海清科 | 2.26万股 | 增持 |
| 2024-06-30 | 拓荆科技 | 3.29万股 | 增持 |
| 2024-06-30 | 天岳先进 | 4.09万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 概伦电子 | 3.07万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 万业企业 | 15.47万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 有研新材 | 14.08万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 文一科技 | 3.01万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 联动科技 | 0.67万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 金海通 | 0.72万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | TCL科技 | 63.45万股 | 减持 |
| 2024-06-30 | 康强电子 | 6.25万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 北方华创 | 4.44万股 | 减持 |
| 2024-06-30 | 雅克科技 | 6.77万股 | 增持 |
| 2024-06-30 | 鼎龙股份 | 12.25万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 江丰电子 | 4.41万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 晶瑞电材 | 17.61万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 长川科技 | 8.92万股 | 增持 |
| 2024-06-30 | 光力科技 | 5.04万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 南大光电 | 12.92万股 | 增持 |
| 2024-06-30 | 上海新阳 | 5.22万股 | 新进 |
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