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| 2026-03-31 | 中微公司 | 263.03万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 安集科技 | 235.61万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 芯源微 | 321.25万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 华峰测控 | 189.44万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 沪硅产业 | 3343.07万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 天岳先进 | 428.99万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 拓荆科技 | 234.87万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 华海清科 | 494.08万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 富创精密 | 305.78万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中科飞测 | 419.47万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 华兴源创 | 84.87万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中微公司 | 116.14万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 安集科技 | 112.43万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 芯源微 | 153.9万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 华峰测控 | 90.45万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 神工股份 | 97.54万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 沪硅产业 | 1596.59万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 金宏气体 | 274.83万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中芯国际 | 88.97万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 和林微纳 | 72.51万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 新益昌 | 38.96万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 盛美上海 | 91.61万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 天岳先进 | 204.78万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 拓荆科技 | 112.34万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 华海清科 | 236.11万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 富创精密 | 146.17万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 耐科装备 | 32.72万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 有研硅 | 355.99万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | DR华海诚 | 45.94万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中船特气 | 151.3万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 晶升股份 | 65.93万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中科飞测 | 200.7万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中巨芯 | 561.08万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 京仪装备 | 96.13万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 艾森股份 | 58.82万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 上海合晶 | 189.95万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 欧莱新材 | 76.1万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 龙图光罩 | 38.15万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 先锋精科 | 57.91万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 兴福电子 | 103.18万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 屹唐股份 | 0.12万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 技源集团 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 天富龙 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 华新精科 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 友升股份 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 道生天合 | 0.05万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 西安奕材 | 0.78万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 超颖电子 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 必贝特 | 0.28万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 大明电子 | 0.01万股 | 新进 |
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