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| 2025-09-30 | 中微公司 | 100.94万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 安集科技 | 89.16万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 芯源微 | 122万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 华峰测控 | 61.39万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 沪硅产业 | 982.82万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 盛美上海 | 66.77万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 天岳先进 | 129.83万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 拓荆科技 | 105.8万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 华海清科 | 173.27万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 中科飞测 | 169.84万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 中巨芯 | 59.2万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 中科飞测 | 22.44万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 晶升股份 | 6.93万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 中船特气 | 15.91万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 华海诚科 | 4.85万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 有研硅 | 37.49万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 影石创新 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 京仪装备 | 8.42万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 艾森股份 | 5.3万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 上海合晶 | 20万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 欧莱新材 | 4.81万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 龙图光罩 | 2.67万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 先锋精科 | 4.05万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 中策橡胶 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 海阳科技 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 华之杰 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 耐科装备 | 2.46万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 富创精密 | 15.34万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 华兴源创 | 8.92万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 中微公司 | 13.35万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 芯源微 | 16.12万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 华峰测控 | 8.14万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 神工股份 | 10.24万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 沪硅产业 | 129.82万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 金宏气体 | 28.97万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 中芯国际 | 8.48万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 和林微纳 | 7.61万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 安集科技 | 11.78万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 华海清科 | 15.37万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 拓荆科技 | 14.01万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 天岳先进 | 17.22万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 盛美上海 | 8.84万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 明志科技 | 4.96万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 新益昌 | 4.08万股 | 新进 |
| 2025-03-31 | 中微公司 | 8.71万股 | 新进 |
| 2025-03-31 | 安集科技 | 6.58万股 | 新进 |
| 2025-03-31 | 芯源微 | 11.7万股 | 新进 |
| 2025-03-31 | 华峰测控 | 5.91万股 | 新进 |
| 2025-03-31 | 沪硅产业 | 86.29万股 | 新进 |
| 2025-03-31 | 天岳先进 | 12.51万股 | 新进 |
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