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| 2026-09-30 | 中微公司 | 1344.79万股 | |
| 2026-09-30 | 安集科技 | 958.35万股 | |
| 2026-09-30 | 芯源微 | 846.32万股 | |
| 2026-09-30 | 华峰测控 | 739.4万股 | |
| 2026-09-30 | 沪硅产业 | 8700.43万股 | |
| 2026-09-30 | 盛美上海 | 761.9万股 | |
| 2026-09-30 | 拓荆科技 | 627.01万股 | |
| 2026-09-30 | 华海清科 | 2047.96万股 | |
| 2026-09-30 | 中船特气 | 836.01万股 | |
| 2026-09-30 | 中科飞测 | 1292.46万股 | |
| 2026-06-30 | 中微公司 | 521.8万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 安集科技 | 371.39万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 芯源微 | 328.58万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 华峰测控 | 285.83万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 神工股份 | 205.15万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 沪硅产业 | 3370.96万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 金宏气体 | 651.77万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 盛美上海 | 294.55万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 天岳先进 | 443.3万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 拓荆科技 | 197.93万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 华海清科 | 799.09万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | XD富创精 | 374.01万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 有研硅 | 738.72万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 微导纳米 | 378.29万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 华海诚科 | 172.5万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 中船特气 | 294.98万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 晶升股份 | 140.49万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 中科飞测 | 500.98万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 中巨芯 | 1185.32万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 京仪装备 | 205.71万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 艾森股份 | 175.49万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 上海合晶 | 410.5万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 欧莱新材 | 163.11万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 龙图光罩 | 135.93万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 先锋精科 | 206.77万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 兴福电子 | 365.94万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 屹唐股份 | 482.67万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 西安奕材 | 409.02万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 恒坤新材 | 109.83万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 强一股份 | 53.93万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 至信股份 | 0.01万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 恒运昌 | 0.01万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 北芯生命 | 0.15万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 电科蓝天 | 0.17万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 易思维 | 0.02万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 视涯科技 | 0.63万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 泰金新能 | 0.02万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 有研复材 | 0.08万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 盛合晶微 | 0.24万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 联讯仪器 | 0.02万股 | 新进 |
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