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| 2026-03-31 | 沪硅产业 | 614.61万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 视涯科技 | 0.97万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 中微公司 | 48.49万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 安集科技 | 43.32万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 芯源微 | 59.25万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 华峰测控 | 34.79万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 天岳先进 | 78.08万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 拓荆科技 | 43.41万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 华海清科 | 91.18万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 电科蓝天 | 1.72万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 沐曦股份 | 0.2万股 | 未变 |
| 2026-03-31 | 昂瑞微 | 0.21万股 | 未变 |
| 2026-03-31 | 摩尔线程 | 0.06万股 | 未变 |
| 2026-03-31 | 中科飞测 | 77.18万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 富创精密 | 56.3万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 友升股份 | 0万股 | 不变 |
| 2025-12-31 | 华新精科 | 0万股 | 不变 |
| 2025-12-31 | 技源集团 | 0.01万股 | 不变 |
| 2025-12-31 | 屹唐股份 | 0.04万股 | 不变 |
| 2025-12-31 | 兴福电子 | 20.64万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 先锋精科 | 13.88万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 龙图光罩 | 9.15万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 欧莱新材 | 18.28万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 上海合晶 | 45.69万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 艾森股份 | 14.09万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 京仪装备 | 23.09万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 中巨芯 | 134.71万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 中科飞测 | 48.28万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 道生天合 | 0.03万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 西安奕材 | 0.24万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 超颖电子 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 强一股份 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 健信超导 | 0.03万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 优迅股份 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 沐曦股份 | 0.2万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 昂瑞微 | 0.21万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 百奥赛图 | 0.04万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 锡华科技 | 0.03万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 恒坤新材 | 0.06万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 德力佳 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 丰倍生物 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 大明电子 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 必贝特 | 0.28万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 摩尔线程 | 0.06万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 晶升股份 | 15.78万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 中船特气 | 36.25万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 金宏气体 | 66.07万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 沪硅产业 | 383.12万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 神工股份 | 23.36万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 华峰测控 | 21.74万股 | 减持 |
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