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| 2026-09-30 | 中微公司 | 334.06万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 安集科技 | 235.94万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 芯源微 | 209.63万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 华峰测控 | 181.86万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 沪硅产业 | 2163.32万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 盛美上海 | 187.62万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 拓荆科技 | 154.72万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 华海清科 | 517.54万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 富创精密 | 235.94万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 中科飞测 | 320.06万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 电科蓝天 | 1.72万股 | 不变 |
| 2026-09-30 | 联讯仪器 | 0.02万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 长鑫科技 | 29.52万股 | 新进 |
| 2026-09-30 | 宇树科技 | 0.42万股 | 新进 |
| 2026-09-30 | 燧原科技 | 0.36万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 中微公司 | 120.43万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 安集科技 | 85.68万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 芯源微 | 75.61万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 华峰测控 | 66.4万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 神工股份 | 46.64万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 沪硅产业 | 787.25万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 金宏气体 | 147.31万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 盛美上海 | 67.06万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 天岳先进 | 100.98万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 拓荆科技 | 47.01万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 华海清科 | 182.28万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 富创精密 | 86.12万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 有研硅 | 177.19万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 微导纳米 | 84.81万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 华海诚科 | 39.15万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 中船特气 | 68.83万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 晶升股份 | 31.98万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 中科飞测 | 112.81万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 中巨芯 | 274.54万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 京仪装备 | 47.88万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 艾森股份 | 49.1万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 上海合晶 | 95.75万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 欧莱新材 | 39.02万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 龙图光罩 | 31.28万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 先锋精科 | 47.49万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 兴福电子 | 83.16万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 屹唐股份 | 109.16万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 西安奕材 | 92.59万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 恒坤新材 | 25.13万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 昂瑞微 | 0.21万股 | 不变 |
| 2026-06-30 | 沐曦股份 | 0.2万股 | 未变 |
| 2026-06-30 | 健信超导 | 0.03万股 | 不变 |
| 2026-06-30 | 强一股份 | 12.53万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 至信股份 | 0.01万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 恒运昌 | 0.01万股 | 新进 |
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