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| 2026-06-30 | 长进光子 | 0.01万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 中科飞测 | 53.62万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 晶升股份 | 14.43万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 中船特气 | 31.84万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 华海诚科 | 17.95万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 微导纳米 | 39.62万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 有研硅 | 81.43万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | XD富创精 | 40.1万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 拓荆科技 | 20.86万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 天岳先进 | 46.88万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 盛美上海 | 31.49万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 金宏气体 | 65.44万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 沪硅产业 | 361.45万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 神工股份 | 22.01万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 华峰测控 | 29.92万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 芯源微 | 34.69万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 安集科技 | 39.43万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 中巨芯 | 115.61万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 京仪装备 | 22.37万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 嘉德利 | 0.01万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 长裕集团 | 0.01万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 埃泰克 | 0.01万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 红板科技 | 0.03万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 视涯科技 | 0.41万股 | 未变 |
| 2026-06-30 | 易思维 | 0.01万股 | 未变 |
| 2026-06-30 | 强一股份 | 5.93万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 恒坤新材 | 11.98万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 西安奕材 | 44.3万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 屹唐股份 | 52.48万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 兴福电子 | 38.71万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 先锋精科 | 22.41万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 龙图光罩 | 14.64万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 欧莱新材 | 17.7万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 上海合晶 | 44.16万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 艾森股份 | 18.95万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 中微公司 | 56.34万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 华海清科 | 86.78万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 林平发展 | 0万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 视涯科技 | 0.41万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 德力佳 | 0.01万股 | 未变 |
| 2026-03-31 | 红板科技 | 0.28万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 超颖电子 | 0.02万股 | 未变 |
| 2026-03-31 | 易思维 | 0.01万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 华峰测控 | 11.86万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 安集科技 | 14.79万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 芯源微 | 20.17万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中科飞测 | 26.27万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | XD富创精 | 19.16万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 华海清科 | 30.99万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 拓荆科技 | 14.7万股 | 增持 |
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