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| 2026-03-31 | 红板科技 | 0.28万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 中微公司 | 16.44万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 安集科技 | 14.79万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 芯源微 | 20.17万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 华峰测控 | 11.86万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 沪硅产业 | 210.03万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 天岳先进 | 26.9万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 拓荆科技 | 14.7万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 华海清科 | 30.99万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 易思维 | 0.01万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 富创精密 | 19.16万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中科飞测 | 26.27万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 超颖电子 | 0.02万股 | 未变 |
| 2026-03-31 | 德力佳 | 0.01万股 | 未变 |
| 2026-03-31 | 视涯科技 | 0.41万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 龙图光罩 | 2.99万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 欧莱新材 | 5.98万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 沪硅产业 | 125.64万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 先锋精科 | 4.53万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 兴福电子 | 8.07万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 超颖电子 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 丰倍生物 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 德力佳 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 上海合晶 | 14.92万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 艾森股份 | 4.62万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 京仪装备 | 7.54万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 新益昌 | 3.06万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 和林微纳 | 5.67万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 中芯国际 | 6.96万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 金宏气体 | 21.66万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 神工股份 | 7.63万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 华峰测控 | 7.09万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 芯源微 | 12.08万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 安集科技 | 8.81万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 中微公司 | 11.86万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 盛美上海 | 7.18万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 天岳先进 | 16.08万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 拓荆科技 | 8.8万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 中巨芯 | 44.23万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 中科飞测 | 15.74万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 晶升股份 | 5.18万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 中船特气 | 11.87万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 华海诚科 | 3.59万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 有研硅 | 28.02万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 耐科装备 | 2.57万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 富创精密 | 11.44万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 华海清科 | 18.53万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 华兴源创 | 6.65万股 | 新进 |
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