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| 序号 | 股票 | 持股数量(万股) | 持股变动 | 股份性质 | 占总股本比例 | 报告期 |
| 1 | 中科微至 | 78.15 | 未变 | 流通A股 | 0.59% | 2023-12-31 |
| 2 | 中科微至 | 78.15 | 减持 | 流通A股 | 0.59% | 2023-09-30 |
| 3 | 中科微至 | 89.1 | 新进 | 限售流通股 | 0.68% | 2023-06-30 |
| 序号 | 股票 | 持股数量(万股) | 持股变动 | 股份性质 | 占总股本比例 | 报告期 |
| 1 | 中科微至 | 78.15 | 未变 | 境内法人股 | 1.202% | 2023-12-31 |
| 2 | 中科微至 | 78.15 | 未变 | 流通A股 | 1.2% | 2023-11-17 |
| 3 | 中科微至 | 78.15 | 减持 | 境内法人股 | 1.209% | 2023-09-30 |
| 4 | 中科微至 | 89.1 | 增持 | 境内法人股 | 1.378% | 2023-06-30 |
| 5 | 中科微至 | 78.04 | 新进 | A股 | 1.22% | 2023-03-31 |
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