| 序号 | 股票 | 持股数量(万股) | 持股变动 | 股份性质 | 占总股本比例 | 报告期 |
| 1 | 中科微至 | 117.39 | 未变 | 0.89% | 2022-11-14 | |
| 2 | 中科微至 | 117.39 | 未变 | 0.89% | 2021-10-26 | |
| 3 | 中科微至 | 117.39 | 未变 | 1.19% | 2021-10-14 | |
| 4 | 中科微至 | 117.39 | 新进 | 限售流通股 | 1.19% | 2020-11-25 |
| 序号 | 股票 | 持股数量(万股) | 持股变动 | 股份性质 | 占总股本比例 | 报告期 |
| 1 | 中科微至 | 117.39 | 新进 | 境内法人股 | 1.827% | 2022-11-14 |
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