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| 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金十大流通股股票 | 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金十大股东股票 |
| 披露日期 | 个股 | 持股数量 季报后涨幅 市值 | 持股变动 |
| 2026-03-31 | 至纯科技 | 698.28万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 盛美上海 | 218.96万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 拓荆科技 | 384.46万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 中微公司 | 936.51万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 立昂微 | 1223.92万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 珂玛科技 | 397.03万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 雅克科技 | 650.28万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 晶瑞电材 | 2438.16万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 广立微 | 228.08万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 艾森股份 | 140.85万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 长川科技 | 1011.8万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 神工股份 | 233.01万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 有研新材 | 1350.5万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 南大光电 | 1571.09万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 华海清科 | 564.24万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 矽电股份 | 28.47万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中船特气 | 362.18万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 华海诚科 | 109.23万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中巨芯 | 1346.74万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 三佳科技 | 289.04万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 龙图光罩 | 90.99万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 上海合晶 | 454.61万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 晶升股份 | 157.71万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 富创精密 | 348.95万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 沪硅产业 | 4368.95万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 芯源微 | 367.66万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 江化微 | 527.51万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 北方华创 | 558.68万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 中科飞测 | 478.9万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 京仪装备 | 229.74万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 有研硅 | 853.3万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 天岳先进 | 489.73万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 华峰测控 | 216.28万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 江丰电子 | 483.69万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 上海新阳 | 499.03万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 安集科技 | 268.85万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 康强电子 | 597.98万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中晶科技 | 176.25万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 联动科技 | 64.11万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 安集科技 | 134.65万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 上海合晶 | 230.91万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 艾森股份 | 75.29万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 江化微 | 266.15万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 康强电子 | 301.76万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中晶科技 | 91.58万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 晶瑞电材 | 1233.21万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 雅克科技 | 331.61万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 至纯科技 | 353.79万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 长川科技 | 513.81万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 华海诚科 | 54.23万股 | 新进 |
| 披露日期 | 个股 | 持股数量 季报后涨幅 市值 | 持股变动 |
| 2026-03-31 | 艾森股份 | 140.85万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 盛美上海 | 218.96万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 拓荆科技 | 384.46万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 中微公司 | 936.51万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 立昂微 | 1223.92万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 珂玛科技 | 397.03万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 雅克科技 | 650.28万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 三佳科技 | 289.04万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 康强电子 | 597.98万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中船特气 | 362.18万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 晶瑞电材 | 2438.16万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 华海清科 | 564.24万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 南大光电 | 1571.09万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 有研新材 | 1350.5万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 联动科技 | 64.11万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 神工股份 | 233.01万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 长川科技 | 1011.8万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 华海诚科 | 109.23万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 中巨芯 | 1346.74万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中晶科技 | 176.25万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 北方华创 | 558.68万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 江化微 | 527.51万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 芯源微 | 367.66万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 沪硅产业 | 4368.95万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 富创精密 | 348.95万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 晶升股份 | 157.71万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 上海合晶 | 454.61万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 至纯科技 | 698.28万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 安集科技 | 268.85万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 京仪装备 | 229.74万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 上海新阳 | 499.03万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 江丰电子 | 483.69万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 华峰测控 | 216.28万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 天岳先进 | 489.73万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 有研硅 | 853.3万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 雅克科技 | 331.61万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 至纯科技 | 353.79万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 三佳科技 | 143.73万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中晶科技 | 91.58万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 江化微 | 266.15万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 晶瑞电材 | 1233.21万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 长川科技 | 513.81万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 有研新材 | 686.43万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中巨芯 | 679.39万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 安集科技 | 134.65万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 南大光电 | 793.62万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 康强电子 | 301.76万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 有研硅 | 430.73万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 神工股份 | 118.01万股 | 增持 |
| 2025-10-10 | 康强电子 | 276.11万股 | 增持 |
| 十大流通股东持仓统计 | 十大股东持仓统计 |
| 十大流通 | 总持股数量（只） | 总持仓市值(万) |
| 2026-03-31 | 39 | 1899379.19 |
| 2025-12-31 | 21 | 261004.94 |
| 2025-09-30 | 16 | 194853.31 |
| 2025-06-30 | 6 | 15830.69 |
| 十大股东 | 总持股数量（只） | 总持仓市值(万) |
| 2026-03-31 | 35 | 1801305.84 |
| 2025-12-31 | 14 | 220879.26 |
| 2025-09-30 | 15 | 189505.79 |
| 2025-06-30 | 4 | 10887.29 |
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