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| 长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金十大流通股股票 | 长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金十大股东股票 |
| 披露日期 | 个股 | 持股数量 季报后涨幅 市值 | 持股变动 |
| 2026-06-30 | 先锋精科 | 206.77万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 恒坤新材 | 109.83万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 艾森股份 | 175.49万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 金宏气体 | 651.77万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 芯源微 | 328.58万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 中科飞测 | 500.98万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 华海清科 | 799.09万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 天岳先进 | 443.3万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 沪硅产业 | 3370.96万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 兴福电子 | 365.94万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 有研硅 | 738.72万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 中巨芯 | 1185.32万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 盛美上海 | 294.55万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 西安奕材 | 409.02万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 安集科技 | 371.39万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 神工股份 | 205.15万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 强一股份 | 53.93万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 上海合晶 | 410.50万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 富创精密 | 374.01万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 华峰测控 | 285.83万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 屹唐股份 | 482.67万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 京仪装备 | 205.71万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 华海诚科 | 172.50万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 欧莱新材 | 163.11万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 微导纳米 | 378.29万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 中船特气 | 294.98万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 龙图光罩 | 135.93万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 晶升股份 | 140.49万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 华峰测控 | 189.44万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 龙图光罩 | 79.05万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 上海合晶 | 397.53万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 晶升股份 | 137.75万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 中船特气 | 317.05万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 神工股份 | 203.96万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 耐科装备 | 68.12万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 欧莱新材 | 158.96万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 艾森股份 | 123.12万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 盛美上海 | 191.38万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 新益昌 | 81.59万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 华海诚科 | 95.83万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中巨芯 | 1178.19万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 安集科技 | 235.61万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 有研硅 | 745.63万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 京仪装备 | 201.3万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 华兴源创 | 177.78万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 金宏气体 | 575.19万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 芯源微 | 321.25万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 兴福电子 | 103.18万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 耐科装备 | 32.72万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 华海诚科 | 45.94万股 | 新进 |
| 披露日期 | 个股 | 持股数量 季报后涨幅 市值 | 持股变动 |
| 2026-06-30 | 上海合晶 | 410.5万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 有研硅 | 738.72万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 沪硅产业 | 3370.96万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 天岳先进 | 443.3万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 华海清科 | 799.09万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 芯源微 | 328.58万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 金宏气体 | 651.77万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 艾森股份 | 175.49万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 安集科技 | 371.39万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 神工股份 | 205.15万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 晶升股份 | 140.49万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 龙图光罩 | 135.93万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 微导纳米 | 378.29万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 欧莱新材 | 163.11万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 京仪装备 | 205.71万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 中船特气 | 294.98万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 华峰测控 | 285.83万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 富创精密 | 374.01万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 中巨芯 | 1185.32万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 盛美上海 | 294.55万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 华海诚科 | 172.5万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 中科飞测 | 500.98万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 新益昌 | 81.59万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 盛美上海 | 191.38万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 艾森股份 | 123.12万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 上海合晶 | 397.53万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 欧莱新材 | 158.96万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 神工股份 | 203.96万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中船特气 | 317.05万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 中巨芯 | 1178.19万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 华峰测控 | 189.44万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 金宏气体 | 575.19万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 芯源微 | 321.25万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 华兴源创 | 177.78万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 安集科技 | 235.61万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 京仪装备 | 201.3万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 有研硅 | 745.63万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 华兴源创 | 84.87万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 中巨芯 | 561.08万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 安集科技 | 112.43万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 神工股份 | 77.1万股 | 新进 |
| 十大流通股东持仓统计 | 十大股东持仓统计 |
| 十大流通 | 总持股数量（只） | 总持仓市值(万) |
| 2026-06-30 | 28 | 1955319.94 |
| 2026-03-31 | 19 | 323849.73 |
| 2025-12-31 | 8 | 49481.97 |
| 2025-09-30 | 6 | 16387.66 |
| 十大股东 | 总持股数量（只） | 总持仓市值(万) |
| 2026-06-30 | 22 | 1797224.75 |
| 2026-03-31 | 15 | 304133.49 |
| 2025-12-31 | 3 | 32179.17 |
| 2025-09-30 | 1 | 3914.37 |
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