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网友提问 :董秘,您好!2023年您回复超精尺才可以用于DUV和EUV光刻机,我想问问,DUV光刻机和EUV光刻机相差那么大,必须都用超精尺?难道高精尺精度可以达到2nm,为啥不能用于DUV光刻机?而且超精尺研发需要数年时间,要实现根本性国产替代那不是希望还很遥远?

2024-02-27 22:45:06

奥普光电 (002338): 回答:光栅尺是半导体设备的部件之一,其精度要求取决于整机的技术指标需求。我们会加强研发、努力攻关,满足整机厂家需求。感谢关注。

2024-03-04 16:37:24

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奥普光电

法定名称:
长春奥普光电技术股份有限公司
公司简介:
长春奥普光电技术股份有限公司是根据吉林省人民政府
经营范围:
光电测控仪器设备、新型医疗仪器、光学材料和光栅编码器等产品的研发、生产与销售。
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