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网友提问 :请问一下,国产光刻机的精度是否由公司生产的光栅尺或超精尺的精度确定?贵司的产品目前支持28nm的制程吗?贵司作为中科院的一员,为国产光刻机做了哪些贡献?

2024-03-04 12:56:39

奥普光电 (002338): 回答:光栅尺是半导体设备的部件之一,一般来说部件的精度取决于整机的技术需求。感谢关注。

2024-03-10 08:43:45

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奥普光电

法定名称:
长春奥普光电技术股份有限公司
公司简介:
长春奥普光电技术股份有限公司是根据吉林省人民政府
经营范围:
光电测控仪器设备、新型医疗仪器、光学材料和光栅编码器等产品的研发、生产与销售。
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