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网友提问 :2.半导体的光栅尺和工业母机的精度是什么样的量级?

2024-03-14 00:00:00

奥普光电 (002338): 回答:精度上来说差距很大。现在国内工业母机领域能做到批量配给数控机床的,应该只有禹衡光学。而半导体设备对光栅尺精度的需求又上了一个量级。

2024-03-14 00:00:00

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