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网友提问 :在2.5D/3D先进封装中,硅通孔(TSV)、重布线层(RDL)等结构的介电层需满足超薄均匀性:厚度<1μm,公差±5%;高绝缘性:击穿电压>10MV/cm;低应力:避免翘曲导致互连失效。传统PECVD(等离子体增强化学气相沉积)工艺面临沉积温度高(>300℃)、阶梯覆盖率差(<80%)等难题。将臭氧引入PECVD反应腔,可实现先进封装良率大幅度提升。公司的臭氧设备满足先进封装需求吗?

2025-05-30 10:42:39

国林科技 (300786): 回答:
www.tetegu.com

2025-06-03 11:30:12

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国林科技

法定名称:
青岛国林科技集团股份有限公司
公司简介:
1994年12月13日,丁香鹏、陈建明与朱若英以货币形式设立“青岛国林实业有限责任公司”。
经营范围:
专业从事臭氧产生机理研究、臭氧设备设计与制造、臭氧应用工程方案设计与臭氧系统设备安装、调试、运行及维护等业务。
注册地址
山东省青岛市市北区瑞昌路168号
办公地址
山东省青岛市崂山区株洲路188号甲
主营收入
13400