网友提问 ：公司是目前a股上市公司中唯一一家从事光刻清洗相关设备研发制造的公司对吗？目前a股从事光刻清洗相关的化学品生产的公司较多，但研发生产光刻清洗设备的只有公司一家，这是否可以理解为公司多年在臭氧设备积累的技术已经形成在这方面的技术门槛？
2025-06-30 10:48:54
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- 公司的设备在晶圆厂芯片光刻产线上，是与光刻机一起作为前后工序配套使用的吗？按照目前国内走的多重曝光路线，需要光刻一次，清洗一次。再光刻一次，清洗一次。需要多次光刻多次清洗。光刻设备、涂胶显影设备与清洗设备需要协同合作。
2025-07-07 08:28:10
- n+2和n+3工艺的核心在于多重曝光（自对准四重曝光）SAQP技术，该技术是国产芯片突破先进制程的有效路径。随着国产芯片的良率不断提升，saqp技术已经成为7nm以下制程纯国产芯片的主导。四重曝光技术相对于单次曝光，会带来光刻胶的消耗量、光刻胶清洗、掩膜板清洗以及薄膜沉积次数的增加。公司的清洗设备和薄膜沉积设备能否满足自对准四重曝光相关的多次光刻清洗和薄膜沉积需求？
2025-07-07 08:28:40
- 贵司回应过没有自对准多重曝光的技术，这个本身就是芯片光刻制作的核心技术，公司不涉及是正常的。但自对准多重曝光技术需要进行多次清洗、多次沉积，从技术原理上，臭氧比其他传统湿化学品更加适合这种多次清洗和多次沉积，传统清洗每次会残留部分杂质，多次清洗意味着残留杂质会累积，影响芯片良品率。而公司的半导体清洗和薄膜沉积设备正好具备不残留杂质的优点。请问公司设备能否满足自对准多重曝光的对清洗、沉积的技术要求？
2025-07-07 08:30:40
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国林科技
法定名称：青岛国林科技集团股份有限公司
公司简介：
1994年12月13日,丁香鹏、陈建明与朱若英以货币形式设立“青岛国林实业有限责任公司”。
经营范围：
专业从事臭氧产生机理研究、臭氧设备设计与制造、臭氧应用工程方案设计与臭氧系统设备安装、调试、运行及维护等业务。
注册地址山东省青岛市市北区瑞昌路168号
办公地址山东省青岛市崂山区株洲路188号甲
主营收入13400
