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网友提问 :固态激光光源的优点是可变波长,可以产生深紫外光、极紫外光。理论上355nm激光光源经一次曝光后可变为175nm,二次曝光后变为86nm,经多次曝光后理论上可以应用于28nm以上光刻机。请问理论上这是可行吗?公司是否有开展光刻机的研究计划?谢谢

2021-07-22 14:44:57

英诺激光 (301021): 回答:
www.tetegu.com

2021-07-30 15:41:53

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英诺激光

法定名称:
英诺激光科技股份有限公司
公司简介:
2011年11月30日,公司前身“深圳英诺激光科技有限公司”成立。
经营范围:
研发、生产和销售微加工激光器和定制激光模组。
注册地址
广东省深圳市南山区创智云城大厦(工业区)1标段1栋A座11层01号
办公地址
广东省深圳市南山区西丽街道创智云城大厦(工业区)1标段1栋A座11层01号
主营收入
11500