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网友提问 :请介绍一下公司创新低压水平硼扩散技术?

2024-10-17 15:52:00

拉普拉斯 (688726): 回答:N型光伏电池片具有高转换效率、低衰减率、弱光效应好和低温度系数等优势,但是,N型硅片需要在硅片表面扩散硼元素以达到形成PN结的目的,而硼扩散设备一直是困扰N型光伏电池片量产的难题,所以最早大规模量产的单晶硅电池是P型的PERC。
硼原子相对于其拟扩散进入的衬底硅原子而言,原子质量较小,对硅原子的替代需要更高的能量,硼扩散工艺相对于磷扩散需要的温度更高(由850℃上升至1050℃左右),且扩散时间长,工艺难度大,设备维护费用高。行业内原有工艺采用三溴化硼作为扩散硼源,通过氮气携源的方式通入设备,其通入状态为小液滴,在扩散过程中,容易造成硼源在硅片表面分布不均匀,导致形成的PN结不均匀,同时产生的副产物为粘稠状物质,设备需要频繁维护,稼动率低,运营成本极高,难以实现大规模量产,主要用于研发。
公司创新开发低压水平硼扩散技术,很好地解决了前述技术瓶颈:①采用三氯化硼作为扩散硼源,在一定温度下通过饱和蒸汽压的方式通入设备,通入状态为气态,扩散过程中硼源在硅片表面分布均匀,形成更均匀的PN结,解决N型电池PN结制备均匀性较差的难题;②使用气态三氯化硼作为掺杂源,与传统三溴化硼液态源硼扩散相比,在设备营造的特殊反应氛围下,副产物为粉末状的氧化硼,石英管寿命长、维护费用低、运营成本低。公司的创新低压水平硼扩散技术推动了N型光伏电池片实现量产落地,并先后10余次帮助晶科能源、隆基绿能及中来股份打破TOPCon光伏电池片转换效率的世界纪录。谢谢。

2024-10-17 15:52:00

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拉普拉斯

法定名称:
拉普拉斯新能源科技股份有限公司
公司简介:
2016年5月9日,公司前身深圳市拉普拉斯能源技术有限公司。
经营范围:
光伏电池片制造所需高性能热制程、镀膜及配套自动化设备的研发、生产与销售。
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