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| 2024-09-30 | 北方华创 | 11.18万股 | 增持 |
| 2024-09-30 | 张江高科 | 166.33万股 | 增持 |
| 2024-09-30 | 彤程新材 | 96.44万股 | 减持 |
| 2024-09-30 | 中微公司 | 28.1万股 | 增持 |
| 2024-09-30 | 中芯国际 | 77.17万股 | 增持 |
| 2024-09-30 | 盛美上海 | 42.31万股 | 增持 |
| 2024-09-30 | 拓荆科技 | 31.51万股 | 增持 |
| 2024-09-30 | 华大九天 | 46.43万股 | 增持 |
| 2024-09-30 | 茂莱光学 | 44.35万股 | 增持 |
| 2024-09-30 | 中科飞测 | 71.71万股 | 增持 |
| 2024-06-30 | 诺瓦星云 | 0.05万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 北方华创 | 9.49万股 | 增持 |
| 2024-06-30 | 上海新阳 | 29.5万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 南大光电 | 35.27万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 晶瑞电材 | 122.67万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 张江高科 | 162.43万股 | 增持 |
| 2024-06-30 | 彤程新材 | 97.42万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 中微公司 | 21.21万股 | 增持 |
| 2024-06-30 | 中芯国际 | 66.72万股 | 增持 |
| 2024-06-30 | 盛美上海 | 36.32万股 | 增持 |
| 2024-06-30 | 拓荆科技 | 23.53万股 | 增持 |
| 2024-06-30 | 华大九天 | 39.19万股 | 增持 |
| 2024-06-30 | 茂莱光学 | 31.34万股 | 增持 |
| 2024-06-30 | 中科飞测 | 61.44万股 | 增持 |
| 2024-06-30 | 鼎龙科技 | 0.02万股 | 减持 |
| 2024-06-30 | 辰奕智能 | 0.02万股 | 减持 |
| 2024-06-30 | 达利凯普 | 0.06万股 | 减持 |
| 2024-06-30 | 博隆技术 | 0.04万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 雪祺电气 | 0.02万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 西典新能 | 0.01万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 腾达科技 | 0.02万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 永兴股份 | 0.04万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 盛景微 | 0.01万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 北自科技 | 0.01万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 华阳智能 | 0.01万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 成都华微 | 0.05万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 上海合晶 | 0.03万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 中创股份 | 0.02万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 星德胜 | 0.01万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 灿芯股份 | 0.02万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 欧莱新材 | 0.03万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 汇成真空 | 0.02万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 达梦数据 | 0.01万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 中仑新材 | 0.06万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 爱迪特 | 0.02万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 永臻股份 | 0.01万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 安乃达 | 0.11万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 键邦股份 | 0.13万股 | 新进 |
| 2024-03-31 | 北方华创 | 7.24万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 张江高科 | 110.93万股 | 增持 |
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