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| 2024-03-31 | 紫光国微 | 39.18万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 北方华创 | 37.99万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 三环集团 | 119.87万股 | 增持 |
| 2024-03-31 | 长川科技 | 146.16万股 | 未变 |
| 2024-03-31 | 江丰电子 | 111.02万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 韦尔股份 | 81.43万股 | 增持 |
| 2024-03-31 | 彤程新材 | 29.31万股 | 未变 |
| 2024-03-31 | 中微公司 | 77.19万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 安集科技 | 34.06万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 晶晨股份 | 66.85万股 | 未变 |
| 2024-03-31 | 金宏气体 | 232.02万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 中芯国际 | 236.23万股 | 增持 |
| 2024-03-31 | 芯原股份 | 64.05万股 | 减持 |
| 2024-03-31 | 拓荆科技 | 24.35万股 | 不变 |
| 2024-03-31 | 华海清科 | 31.31万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 紫光国微 | 81.3万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 北方华创 | 62.36万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 雅克科技 | 76.54万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 台基股份 | 33.26万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 上海新阳 | 16.76万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 晶盛机电 | 73.61万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 南大光电 | 69.06万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 飞凯材料 | 20.18万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 三环集团 | 68.82万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 长川科技 | 146.16万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 江丰电子 | 164.46万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 阿石创 | 20.68万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 捷佳伟创 | 11.39万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 有研新材 | 41.8万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 韦尔股份 | 75.5万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 彤程新材 | 29.31万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 至纯科技 | 81.39万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 中微公司 | 95.94万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 安集科技 | 37.28万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 晶晨股份 | 66.85万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 清溢光电 | 89.75万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 芯源微 | 36.42万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 聚辰股份 | 14.6万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 华峰测控 | 26.58万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 华润微 | 32.83万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 沪硅产业 | 112.49万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 金宏气体 | 257.94万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 中芯国际 | 217.6万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 芯原股份 | 90.39万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 正帆科技 | 69.62万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 立昂微 | 16.7万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 盛美上海 | 24.24万股 | 新进 |
| 2023-12-31 | 天岳先进 | 16.78万股 | 减持 |
| 2023-12-31 | 拓荆科技 | 24.35万股 | 增持 |
| 2023-12-31 | 华海清科 | 29.65万股 | 减持 |
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