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| 2026-03-31 | 紫光国微 | 108.55万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 北方华创 | 118.38万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 兴森科技 | 101.75万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 长川科技 | 317.2万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 兆易创新 | 4.59万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 中微公司 | 175.93万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 聚辰股份 | 37.84万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 华峰测控 | 86.8万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 寒武纪 | 36.13万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中芯国际 | 316.9万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 拓荆科技 | 118.29万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 华海清科 | 153.78万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 海光信息 | 137.97万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 富乐德 | 172.07万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 中科飞测 | 178.09万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中国长城 | 166.03万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 大族激光 | 70.44万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 紫光国微 | 22.92万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 康强电子 | 126.87万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 华天科技 | 106.88万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 北方华创 | 109.88万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 和而泰 | 27.94万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 雅克科技 | 105.03万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 兴森科技 | 74.95万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 上海新阳 | 30.53万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 南大光电 | 314.35万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 长川科技 | 238.45万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 晶瑞电材 | 50.48万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 江丰电子 | 80.09万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 上海贝岭 | 18.02万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 有研新材 | 189.15万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 工业富联 | 10.24万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 兆易创新 | 18.56万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 睿创微纳 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 澜起科技 | 25.78万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 中微公司 | 191.5万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 安集科技 | 70.71万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 芯源微 | 55.79万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 聚辰股份 | 5.99万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 华峰测控 | 81.79万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 神工股份 | 11.21万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 沪硅产业 | 587.85万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 寒武纪 | 35.02万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中芯国际 | 328.94万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 协创数据 | 5万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 立昂微 | 113.52万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 华亚智能 | 55.62万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 盛美上海 | 47.3万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 天岳先进 | 52.41万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 拓荆科技 | 109.95万股 | 增持 |
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