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| 2025-09-30 | 北方华创 | 49.55万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 张江高科 | 298.57万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 中微公司 | 78.97万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 芯源微 | 106.46万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 沪硅产业 | 570.93万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 中芯国际 | 172.78万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 拓荆科技 | 92.18万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 华大九天 | 159.19万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 茂莱光学 | 45.52万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 中科飞测 | 206.15万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 中航西飞 | 61.37万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 北方华创 | 40.88万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 海格通信 | 274.27万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 北方导航 | 155.07万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 云赛智联 | 0.55万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 中航沈飞 | 63.82万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 张江高科 | 664.94万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 中微公司 | 101.64万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 芯源微 | 164.33万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 中芯国际 | 212.69万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 概伦电子 | 533.1万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 拓荆科技 | 116.76万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 华大九天 | 144.26万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 广立微 | 288.18万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 茂莱光学 | 68.46万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 中科飞测 | 222.88万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 达利凯普 | 0.06万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 博隆技术 | 0.04万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 雪祺电气 | 0.02万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 西典新能 | 0.01万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 腾达科技 | 0.02万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 永兴股份 | 0.04万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 盛景微 | 0.01万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 北自科技 | 0.01万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 华阳智能 | 0.01万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 成都华微 | 0.05万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 上海合晶 | 0.03万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 诺瓦星云 | 0.05万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 中创股份 | 0.02万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 星德胜 | 0.01万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 灿芯股份 | 0.02万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 欧莱新材 | 0.03万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 汇成真空 | 0.02万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 达梦数据 | 0.01万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 中仑新材 | 0.06万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 爱迪特 | 0.03万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 永臻股份 | 0.01万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 安乃达 | 0.11万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 键邦股份 | 0.13万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 乔锋智能 | 0.23万股 | 不变 |
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