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| 2026-03-31 | 北方华创 | 47.53万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中微公司 | 62.6万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 芯源微 | 73.3万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 中芯国际 | 188.15万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 盛美上海 | 37.65万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 拓荆科技 | 48.83万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 华大九天 | 232.93万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 茂莱光学 | 41.87万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 中科飞测 | 111.08万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 精智达 | 37.89万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 中兴通讯 | 63.68万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 北方华创 | 40.55万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 云赛智联 | 0.55万股 | 不变 |
| 2025-12-31 | 张江高科 | 255.07万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 中微公司 | 49.37万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 传音控股 | 91.22万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 芯源微 | 75.06万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 中芯国际 | 133.11万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 盛美上海 | 50.69万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 概伦电子 | 255.6万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 拓荆科技 | 35.12万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 华大九天 | 159.19万股 | 未变 |
| 2025-12-31 | 广立微 | 109.65万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 骄成超声 | 37.63万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 茂莱光学 | 42.77万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 中科飞测 | 118.63万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 精智达 | 44.35万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 华虹公司 | 83.59万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 达利凯普 | 0.06万股 | 不变 |
| 2025-12-31 | 博隆技术 | 0.05万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 雪祺电气 | 0.02万股 | 不变 |
| 2025-12-31 | 西典新能 | 0.01万股 | 不变 |
| 2025-12-31 | 腾达科技 | 0.02万股 | 不变 |
| 2025-12-31 | XD永兴股 | 0.04万股 | 不变 |
| 2025-12-31 | 盛景微 | 0.01万股 | 不变 |
| 2025-12-31 | 北自科技 | 0.01万股 | 不变 |
| 2025-12-31 | 华阳智能 | 0.01万股 | 不变 |
| 2025-12-31 | 成都华微 | 0.05万股 | 不变 |
| 2025-12-31 | 上海合晶 | 0.03万股 | 不变 |
| 2025-12-31 | 诺瓦星云 | 0.05万股 | 不变 |
| 2025-12-31 | 中创股份 | 0.02万股 | 不变 |
| 2025-12-31 | 星德胜 | 0.01万股 | 不变 |
| 2025-12-31 | 灿芯股份 | 0.02万股 | 不变 |
| 2025-12-31 | 欧莱新材 | 0.03万股 | 不变 |
| 2025-12-31 | 汇成真空 | 0.02万股 | 不变 |
| 2025-12-31 | 中仑新材 | 0.06万股 | 不变 |
| 2025-12-31 | 爱迪特 | 0.03万股 | 不变 |
| 2025-12-31 | 永臻股份 | 0.01万股 | 不变 |
| 2025-12-31 | 安乃达 | 0.11万股 | 不变 |
| 2025-12-31 | 键邦股份 | 0.13万股 | 不变 |
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