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| 2026-03-31 | 中微公司 | 0.01万股 | 未变 |
| 2025-12-31 | 中微公司 | 0.01万股 | 减持 |
| 2025-09-30 | 中微公司 | 0.11万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 安集科技 | 0.03万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 华峰测控 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 沪硅产业 | 0.21万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 寒武纪 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 中芯国际 | 0.15万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 拓荆科技 | 0.04万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 华海清科 | 0.06万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 海光信息 | 0.07万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 中科飞测 | 0.06万股 | 新进 |
| 2025-03-31 | 三佳科技 | 0.02万股 | 不变 |
| 2024-12-31 | 三佳科技 | 0.02万股 | 不变 |
| 2024-09-30 | 海光信息 | 0.03万股 | 减持 |
| 2024-09-30 | 天岳先进 | 0.01万股 | 减持 |
| 2024-09-30 | 盛美上海 | 0.01万股 | 新进 |
| 2024-09-30 | 至纯科技 | 0.01万股 | 不变 |
| 2024-09-30 | 江化微 | 0.01万股 | 不变 |
| 2024-09-30 | 三佳科技 | 0.02万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 正帆科技 | 0.02万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 立昂微 | 0.02万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 天岳先进 | 0.02万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 拓荆科技 | 0.03万股 | 增持 |
| 2024-06-30 | 华海清科 | 0.02万股 | 不变 |
| 2024-06-30 | 海光信息 | 0.05万股 | 不变 |
| 2024-06-30 | 中芯国际 | 0.1万股 | 不变 |
| 2024-06-30 | 金宏气体 | 0.02万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 沪硅产业 | 0.09万股 | 不变 |
| 2024-06-30 | 康强电子 | 0.01万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 北方华创 | 0.02万股 | 不变 |
| 2024-06-30 | 兴森科技 | 0.09万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 上海新阳 | 0.01万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 南大光电 | 0.03万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 飞凯材料 | 0.01万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 长川科技 | 0.04万股 | 不变 |
| 2024-06-30 | 晶瑞电材 | 0.02万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 江丰电子 | 0.01万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 雅克科技 | 0.02万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 芯源微 | 0.02万股 | 不变 |
| 2024-06-30 | 中微公司 | 0.05万股 | 未变 |
| 2024-06-30 | 至纯科技 | 0.01万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 豪威集团 | 0.03万股 | 不变 |
| 2024-06-30 | 江化微 | 0.01万股 | 新进 |
| 2024-06-30 | 有研新材 | 0.01万股 | 新进 |
| 2024-03-31 | 北方华创 | 0.02万股 | 新进 |
| 2024-03-31 | 长川科技 | 0.04万股 | 新进 |
| 2024-03-31 | 豪威集团 | 0.03万股 | 新进 |
| 2024-03-31 | 中微公司 | 0.05万股 | 新进 |
| 2024-03-31 | 芯源微 | 0.02万股 | 新进 |
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