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| 2026-03-31 | 中巨芯 | 0.02万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 中科飞测 | 0.02万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 中船特气 | 0.02万股 | 新进 |
| 2026-03-31 | 沪硅产业 | 0.02万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 江化微 | 1.75万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 中微公司 | 7.47万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 长川科技 | 6.35万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 南大光电 | 9.37万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 北方华创 | 3.18万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 安集科技 | 2.52万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 芯源微 | 3.36万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 沪硅产业 | 29.65万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 拓荆科技 | 2.52万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 华海清科 | 4.17万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 中科飞测 | 4.17万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 金海通 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 有研硅 | 0.08万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 富创精密 | 0.03万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 联动科技 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 广立微 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 华海清科 | 0.04万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 拓荆科技 | 0.03万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 中船特气 | 0.03万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 晶升股份 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 中科飞测 | 0.05万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 中巨芯 | 0.13万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 京仪装备 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 艾森股份 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 上海合晶 | 0.04万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 珂玛科技 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 有研新材 | 0.13万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 天岳先进 | 0.04万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 盛美上海 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 先导基电 | 0.14万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 三佳科技 | 0.03万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 江丰电子 | 0.05万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 长川科技 | 0.1万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 南大光电 | 0.15万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 上海新阳 | 0.05万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 雅克科技 | 0.06万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 北方华创 | 0.04万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 康强电子 | 0.06万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 江化微 | 0.05万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 彤程新材 | 0.05万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 中晶科技 | 0.01万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 立昂微 | 0.12万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 沪硅产业 | 0.36万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 神工股份 | 0.02万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 华峰测控 | 0.02万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 芯源微 | 0.03万股 | 减持 |
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