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| 2026-09-30 | 泛亚微透 | 0.02万股 | 减持 |
| 2026-09-30 | 云路股份 | 0万股 | 减持 |
| 2026-09-30 | 中船特气 | 0.01万股 | 减持 |
| 2026-09-30 | 天承科技 | 0万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 容百科技 | 0.57万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 安集科技 | 0.26万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 西部超导 | 0.66万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 嘉元科技 | 0.81万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 天奈科技 | 0.54万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 联瑞新材 | 0.1万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 华特气体 | 0.05万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 广大特材 | 0.14万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 神工股份 | 0.08万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 沪硅产业 | 2.24万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 松井股份 | 0.04万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 金宏气体 | 0.28万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 凯赛生物 | 0.41万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 南亚新材 | 0.21万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 瑞联新材 | 0.06万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 上纬新材 | 0.12万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 世华科技 | 0.07万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 泛亚微透 | 0.02万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 会通股份 | 0.2万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 欧科亿 | 0.17万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 华锐精密 | 0.06万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 三孚新科 | 0.04万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 呈和科技 | 0.09万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 纳微科技 | 0.2万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 厦钨新能 | 0.22万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 五矿新能 | 1.01万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 振华新材 | 0.21万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 新锐股份 | 0.27万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 云路股份 | 0万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 统联精密 | 0.07万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 天岳先进 | 0.29万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 华秦科技 | 0.27万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 斯瑞新材 | 0.45万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 中复神鹰 | 0.16万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 华盛锂电 | 0.11万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 隆达股份 | 0.11万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 菲沃泰 | 0.14万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 德邦科技 | 0.03万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 万润新能 | 0.17万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 有研硅 | 0.34万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 聚和材料 | 0.34万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 华海诚科 | 0.15万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 中船特气 | 0.02万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 天承科技 | 0.01万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 航材股份 | 0.11万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 广钢气体 | 1.08万股 | 增持 |
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