 |
 |
| 2025-09-30 | 北方华创 | 20.94万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 南大光电 | 59.89万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 长川科技 | 38.24万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 中微公司 | 37.28万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 安集科技 | 10.19万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 芯源微 | 13.94万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 沪硅产业 | 142.82万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 拓荆科技 | 12.11万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 华海清科 | 21.37万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 中科飞测 | 19.41万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 康强电子 | 2.09万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 北方华创 | 1.42万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 雅克科技 | 2.27万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 上海新阳 | 1.74万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 南大光电 | 5.49万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 长川科技 | 3.51万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 晶瑞电材 | 6.74万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 江丰电子 | 1.69万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 三佳科技 | 1.01万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 先导基电 | 5.18万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 江化微 | 1.84万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 彤程新材 | 1.9万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 至纯科技 | 2.13万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 中微公司 | 3.43万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 安集科技 | 0.94万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 芯源微 | 1.28万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 华峰测控 | 0.64万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 神工股份 | 0.82万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 沪硅产业 | 13.1万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 立昂微 | 4.27万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 中晶科技 | 0.52万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 盛美上海 | 0.7万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 天岳先进 | 1.36万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 拓荆科技 | 1.11万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 华海清科 | 1.31万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 广立微 | 0.8万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 联动科技 | 0.22万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 富创精密 | 1.22万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 有研硅 | 2.98万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 金海通 | 0.29万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 华海诚科 | 0.38万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 中船特气 | 1.26万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 晶升股份 | 0.54万股 | 不变 |
| 2025-06-30 | 中科飞测 | 1.78万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 中巨芯 | 4.69万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 京仪装备 | 0.66万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 艾森股份 | 0.42万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 上海合晶 | 1.58万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 珂玛科技 | 0.49万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 有研新材 | 4.71万股 | 增持 |
|
|