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| 2026-03-31 | 长川科技 | 1.55万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中科飞测 | 0.79万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 北方华创 | 0.54万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中微公司 | 0.8万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 芯源微 | 0.63万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 华峰测控 | 0.44万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 盛美上海 | 1.38万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 拓荆科技 | 0.68万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 华海清科 | 1.12万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 微导纳米 | 1.46万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 拓荆科技 | 0.56万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 炬光科技 | 0.21万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 盛美上海 | 1.1万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 腾景科技 | 0.2万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 至纯科技 | 1.12万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 华海清科 | 1.03万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 微导纳米 | 1.35万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 茂莱光学 | 0.07万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 中科飞测 | 0.73万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 波长光电 | 0.22万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 汇成真空 | 0.19万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 华峰测控 | 0.4万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 芯源微 | 0.59万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 福晶科技 | 0.63万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 奥普光电 | 0.61万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 北方华创 | 0.42万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 苏大维格 | 1万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 赛微电子 | 0.64万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 精测电子 | 0.66万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 长川科技 | 1.43万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 晶方科技 | 1.31万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 福光股份 | 0.77万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 中微公司 | 0.54万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 华辰装备 | 0.71万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 精测电子 | 0.5万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 长川科技 | 1.21万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 中微公司 | 0.43万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 芯源微 | 0.5万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 华峰测控 | 0.34万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 盛美上海 | 0.68万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 拓荆科技 | 0.5万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 华海清科 | 0.79万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 中科飞测 | 0.62万股 | 新进 |
| 2025-09-30 | 北方华创 | 0.27万股 | 新进 |
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