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| 2026-09-30 | 宇新股份 | 10.96万股 | 新进 |
| 2026-09-30 | 中科飞测 | 0.35万股 | 减持 |
| 2026-09-30 | 北方华创 | 0.29万股 | 减持 |
| 2026-09-30 | 卫星化学 | 4.56万股 | 新进 |
| 2026-09-30 | 长川科技 | 0.6万股 | 减持 |
| 2026-09-30 | 中微公司 | 0.57万股 | 减持 |
| 2026-09-30 | 盛美上海 | 0.56万股 | 减持 |
| 2026-09-30 | 拓荆科技 | 0.25万股 | 减持 |
| 2026-09-30 | 华海清科 | 0.59万股 | 减持 |
| 2026-09-30 | 信德新材 | 4.32万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 聚辰股份 | 0.13万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 兆易创新 | 0.1万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 澜起科技 | 0.29万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 中微公司 | 1.46万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 华辰装备 | 1.2万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 芯源微 | 0.63万股 | 不变 |
| 2026-06-30 | 至纯科技 | 1.19万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 晶方科技 | 1.75万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 长川科技 | 1.52万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 精测电子 | 0.71万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 香农芯创 | 0.29万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 赛微电子 | 2.25万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 苏大维格 | 1.29万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 君正股份 | 0.35万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 北方华创 | 0.78万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 奥普光电 | 1.62万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 华峰测控 | 0.62万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 腾景科技 | 0.49万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 普冉股份 | 0.12万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 联芸科技 | 0.25万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 京仪装备 | 0.38万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 波长光电 | 0.37万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 精智达 | 0.23万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 中科飞测 | 1.09万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 茂莱光学 | 0.15万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 佰维存储 | 0.17万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 微导纳米 | 1.44万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 恒烁股份 | 0.09万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 江波龙 | 0.12万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 华海清科 | 1.54万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 拓荆科技 | 0.62万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 炬光科技 | 0.27万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 东芯股份 | 0.38万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 盛美上海 | 1.48万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 德明利 | 0.09万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 福晶科技 | 1.01万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 深科技 | 1.34万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 汇成真空 | 0.33万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 福光股份 | 1.28万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 微导纳米 | 1.46万股 | 增持 |
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