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| 2026-03-31 | 北方华创 | 558.68万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 南大光电 | 1571.09万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 长川科技 | 1011.8万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 江丰电子 | 483.69万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中微公司 | 936.51万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 安集科技 | 268.85万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 沪硅产业 | 4368.95万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 拓荆科技 | 384.46万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 华海清科 | 564.24万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中科飞测 | 478.9万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 禾元生物 | 1.65万股 | 未变 |
| 2026-03-31 | 西安奕材 | 4.44万股 | 未变 |
| 2026-03-31 | 中国铀业 | 0.23万股 | 未变 |
| 2026-03-31 | 沐曦股份 | 0.4万股 | 未变 |
| 2026-03-31 | 视涯科技 | 0.63万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 康强电子 | 301.76万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 北方华创 | 284.08万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 雅克科技 | 331.61万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 上海新阳 | 251.39万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 南大光电 | 793.62万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 长川科技 | 513.81万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 晶瑞电材 | 1233.21万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 江丰电子 | 243.55万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 有研新材 | 686.43万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 三佳科技 | 143.73万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 江化微 | 266.15万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中微公司 | 394.09万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 安集科技 | 134.65万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 芯源微 | 185.5万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 华峰测控 | 110.3万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 神工股份 | 118.01万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 沪硅产业 | 2211.13万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 立昂微 | 617.63万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中晶科技 | 91.58万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 盛美上海 | 111.54万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 天岳先进 | 247.05万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 拓荆科技 | 193.27万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 华海清科 | 286.67万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 广立微 | 114.93万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 联动科技 | 34.15万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 富创精密 | 176.82万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 有研硅 | 430.73万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 金海通 | 43.1万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 华海诚科 | 54.23万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中船特气 | 182.78万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 晶升股份 | 83.18万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中科飞测 | 242.06万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中巨芯 | 679.39万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 京仪装备 | 116.57万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 艾森股份 | 75.29万股 | 增持 |
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