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| 2025-09-30 | 北方华创 | 255.25万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 南大光电 | 727.04万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 长川科技 | 465万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 中微公司 | 456.2万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 安集科技 | 121.9万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 芯源微 | 168.41万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 沪硅产业 | 1738.89万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 拓荆科技 | 148.75万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 华海清科 | 260.65万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 中科飞测 | 233.4万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 天有为 | 0.02万股 | 不变 |
| 2025-09-30 | 中策橡胶 | 0.07万股 | 不变 |
| 2025-09-30 | 影石创新 | 0.06万股 | 不变 |
| 2025-09-30 | 新恒汇 | 0.04万股 | 不变 |
| 2025-09-30 | 屹唐股份 | 0.35万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 康强电子 | 119.81万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 北方华创 | 81.79万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 雅克科技 | 130.41万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 上海新阳 | 100.07万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 南大光电 | 315.49万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 长川科技 | 201.45万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 晶瑞电材 | 386.99万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 江丰电子 | 96.82万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 三佳科技 | 57.98万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 先导基电 | 297.62万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 江化微 | 105.8万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 彤程新材 | 109.53万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 至纯科技 | 122.61万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 中微公司 | 196.64万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 安集科技 | 53.65万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 芯源微 | 73.44万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 华峰测控 | 37.21万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 神工股份 | 46.66万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 沪硅产业 | 752.96万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 立昂微 | 245.4万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 中晶科技 | 29.72万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 盛美上海 | 40.37万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 天岳先进 | 78.44万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 拓荆科技 | 63.94万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 华海清科 | 75.62万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 广立微 | 45.73万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 联动科技 | 12.88万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 富创精密 | 69.93万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 有研硅 | 170.88万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 金海通 | 16.5万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 华海诚科 | 22.08万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 中船特气 | 72.51万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 晶升股份 | 31.59万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 中科飞测 | 102.22万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 中巨芯 | 269.85万股 | 增持 |
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