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| 2026-09-30 | 北方华创 | 893.22万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 长川科技 | 1126.56万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 江丰电子 | 535.74万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 中微公司 | 1903.93万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 芯源微 | 409.47万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 华峰测控 | 355.67万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 盛美上海 | 366.93万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 拓荆科技 | 503.78万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 华海清科 | 985.37万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 中科飞测 | 622.41万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 大普微 | 0.12万股 | 不变 |
| 2026-09-30 | 联讯仪器 | 0.02万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 华润新能 | 5.89万股 | 减持 |
| 2026-09-30 | 长鑫科技 | 42.18万股 | 新进 |
| 2026-09-30 | 燧原科技 | 0.36万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 康强电子 | 552.68万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 北方华创 | 665.91万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 雅克科技 | 529.92万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 上海新阳 | 416.92万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 南大光电 | 1310.08万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 长川科技 | 836.91万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 晶瑞电材 | 2130.91万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 江丰电子 | 404.1万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 有研新材 | 1123.95万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 江化微 | 420.34万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 至纯科技 | 580.16万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 中微公司 | 1423.61万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 安集科技 | 344.68万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 芯源微 | 307.6万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 华峰测控 | 263.93万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 神工股份 | 195.52万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 沪硅产业 | 3134.16万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 立昂微 | 1123.26万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 盛美上海 | 271.81万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 天岳先进 | 425.91万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 拓荆科技 | 341.29万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 华海清科 | 752.69万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 广立微 | 227.2万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 联动科技 | 79.21万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 富创精密 | 347.75万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 有研硅 | 708.69万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 金海通 | 98.97万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 华海诚科 | 164.95万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 中船特气 | 303.13万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 晶升股份 | 124.16万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 中科飞测 | 463.94万股 | 减持 |
| 2026-06-30 | 中巨芯 | 1120.17万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 京仪装备 | 192.94万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 艾森股份 | 166.71万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 上海合晶 | 378.23万股 | 增持 |
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