| 2026-03-31 | 新易盛 | 13.32万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 中微公司 | 24.45万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 南亚新材 | 44.84万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 蓝特光学 | 156.48万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 腾景科技 | 27.49万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 伟测科技 | 60.17万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 鼎泰高科 | 30.39万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 源杰科技 | 12.79万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 华曙高科 | 88.46万股 | 减持 |
| 2026-03-31 | 中科飞测 | 49.14万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 西部材料 | 10.2万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 深南电路 | 0.77万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 新易盛 | 19.67万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 易德龙 | 20.21万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 睿创微纳 | 10.1万股 | 不变 |
| 2025-12-31 | 澜起科技 | 25.41万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 中微公司 | 8.68万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 金山办公 | 2.86万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 聚辰股份 | 49.11万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 华润微 | 6.13万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 神工股份 | 8.52万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 开普云 | 28.85万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | DR寒武纪 | 6.97万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 中芯国际 | 8.35万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 仕佳光子 | 71.37万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 南亚新材 | 57.68万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 绿的谐波 | 7.57万股 | 不变 |
| 2025-12-31 | 奕瑞科技 | 1.62万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 蓝特光学 | 49.75万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 派能科技 | 5.99万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 生益电子 | 65.31万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 腾景科技 | 22.14万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 亚辉龙 | 3.86万股 | 不变 |
| 2025-12-31 | 复旦微电 | 2.44万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 普冉股份 | 2.91万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 时代电气 | 17.95万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 珠海冠宇 | 55.39万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 百济神州 | 3.6万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 天岳先进 | 11.84万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 大族数控 | 70.24万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 长光华芯 | 14.27万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 峰岹科技 | 0.02万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 纳芯微 | 13.24万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 奥比中光 | 32.22万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 伟测科技 | 89.48万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 美埃科技 | 48.77万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 鼎泰高科 | 9.66万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 源杰科技 | 14.95万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 龙迅股份 | 9.22万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 日联科技 | 3.93万股 | 新进 |
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