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| 2026-03-31 | 北方华创 | 71.78万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 南大光电 | 202.38万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 长川科技 | 130.02万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 江丰电子 | 62.1万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中微公司 | 120.28万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 安集科技 | 34.35万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 沪硅产业 | 558.07万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 拓荆科技 | 49.38万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 华海清科 | 72.45万股 | 增持 |
| 2026-03-31 | 中科飞测 | 61.46万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 康强电子 | 26.16万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 北方华创 | 24.44万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 雅克科技 | 28.48万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 上海新阳 | 21.83万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 南大光电 | 68.9万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 长川科技 | 44.27万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 晶瑞电材 | 106.91万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 江丰电子 | 21.14万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 有研新材 | 59.02万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 三佳科技 | 12.67万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 江化微 | 23.11万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中微公司 | 36.76万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 安集科技 | 11.76万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 芯源微 | 16.08万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 华峰测控 | 9.47万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 神工股份 | 10.18万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 沪硅产业 | 191.03万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 立昂微 | 53.55万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中晶科技 | 7.79万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 盛美上海 | 9.57万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 天岳先进 | 21.41万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 拓荆科技 | 16.78万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 华海清科 | 24.67万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 广立微 | 9.98万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 联动科技 | 2.85万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 富创精密 | 15.24万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 有研硅 | 37.26万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 金海通 | 3.61万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 华海诚科 | 4.87万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中船特气 | 15.83万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 晶升股份 | 6.93万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 中科飞测 | 20.93万股 | 减持 |
| 2025-12-31 | 中巨芯 | 58.85万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 京仪装备 | 10.03万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 艾森股份 | 6.21万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 上海合晶 | 19.86万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 龙图光罩 | 4.09万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 珂玛科技 | 17.34万股 | 增持 |
| 2025-12-31 | 矽电股份 | 1.23万股 | 新进 |
| 2025-12-31 | 强一股份 | 0.02万股 | 新进 |
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