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| 2025-09-30 | 北方华创 | 26.96万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 南大光电 | 76.91万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 长川科技 | 49.2万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 中微公司 | 48.06万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 安集科技 | 12.91万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 芯源微 | 17.81万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 沪硅产业 | 183.76万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 拓荆科技 | 15.63万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 华海清科 | 27.49万股 | 增持 |
| 2025-09-30 | 中科飞测 | 25.16万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 康强电子 | 16.1万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 北方华创 | 10.94万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 雅克科技 | 17.48万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 上海新阳 | 13.41万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 南大光电 | 42.32万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 长川科技 | 27.02万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 晶瑞电材 | 51.88万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 江丰电子 | 13.01万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 三佳科技 | 7.74万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 先导基电 | 39.9万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 江化微 | 14.15万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 彤程新材 | 14.66万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 至纯科技 | 16.42万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 中微公司 | 26.33万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 安集科技 | 7.22万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 芯源微 | 9.87万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 华峰测控 | 4.96万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 神工股份 | 6.26万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 沪硅产业 | 100.9万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 立昂微 | 32.88万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 中晶科技 | 4.01万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 盛美上海 | 5.39万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 天岳先进 | 10.5万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 拓荆科技 | 8.56万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 华海清科 | 10.16万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 广立微 | 6.13万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 联动科技 | 1.7万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 富创精密 | 9.38万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 有研硅 | 22.9万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 金海通 | 2.19万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 华海诚科 | 2.95万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 中船特气 | 9.74万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 晶升股份 | 4.26万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 中科飞测 | 13.69万股 | 减持 |
| 2025-06-30 | 中巨芯 | 36.18万股 | 增持 |
| 2025-06-30 | 京仪装备 | 5.13万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 艾森股份 | 3.23万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 上海合晶 | 12.22万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 珂玛科技 | 3.75万股 | 新进 |
| 2025-06-30 | 天和磁材 | 0.02万股 | 减持 |
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