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| 2026-09-30 | 北方华创 | 186.99万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 长川科技 | 236.37万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 江丰电子 | 113.17万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 中微公司 | 396.23万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 芯源微 | 85.15万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 华峰测控 | 74.44万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 盛美上海 | 76.66万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 拓荆科技 | 104.66万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 华海清科 | 198.87万股 | 增持 |
| 2026-09-30 | 中科飞测 | 130.07万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 康强电子 | 104.15万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 北方华创 | 125.52万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 雅克科技 | 101.7万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 上海新阳 | 79.14万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 南大光电 | 246.77万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 长川科技 | 159.78万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 晶瑞电材 | 403.56万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 江丰电子 | 76.6万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 有研新材 | 209.96万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 江化微 | 80.42万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 至纯科技 | 106.39万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 中微公司 | 267.91万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 安集科技 | 64.99万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 芯源微 | 57.33万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 华峰测控 | 49.99万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 神工股份 | 36.12万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 沪硅产业 | 588.24万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 立昂微 | 210.64万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 盛美上海 | 51.61万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 天岳先进 | 76.63万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 拓荆科技 | 62.98万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 华海清科 | 139.31万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 广立微 | 42.2万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 联动科技 | 16.37万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 富创精密 | 65.36万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 有研硅 | 131.03万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 金海通 | 18.01万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 华海诚科 | 31.55万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 中船特气 | 44.85万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 晶升股份 | 27万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 中科飞测 | 87.37万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 中巨芯 | 205.67万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 京仪装备 | 36.01万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 艾森股份 | 33.33万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 上海合晶 | 71.7万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 龙图光罩 | 27.42万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 珂玛科技 | 61.95万股 | 增持 |
| 2026-06-30 | 先锋精科 | 36.89万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 兴福电子 | 64.08万股 | 新进 |
| 2026-06-30 | 矽电股份 | 7.01万股 | 增持 |
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