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| 序号 | 股票 | 股东 | 持股数量(万股) | 持股变动 | 股份性质 | 占总股本比例 | 报告期 |
| 1 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 2051.63 | 未变 | 流通A股 | 7.3% | 2025-11-14 |
| 2 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 2051.63 | 未变 | 流通A股 | 7.3% | 2025-11-07 |
| 3 | 600877 | 中微半导体(深圳)股份有限公司 | 1829.7 | 未变 | 流通A股 | 1.55% | 2025-09-30 |
| 4 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 2051.63 | 未变 | 流通A股 | 7.3% | 2025-09-30 |
| 5 | 688605 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 292.7 | 未变 | 限售流通A股 | 1.45% | 2025-09-30 |
| 6 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 2051.63 | 未变 | 流通A股 | 7.33% | 2025-08-08 |
| 7 | 600877 | 中微半导体(深圳)股份有限公司 | 1829.7 | 未变 | 流通A股 | 1.55% | 2025-06-30 |
| 8 | 688605 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 292.7 | 未变 | 限售流通股 | 1.45% | 2025-06-30 |
| 9 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 2051.63 | 未变 | 流通A股 | 7.33% | 2025-06-30 |
| 10 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 2051.63 | 未变 | 流通A股 | 7.33% | 2025-05-30 |
| 11 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 2051.63 | 未变 | 流通A股 | 7.33% | 2025-03-31 |
| 12 | 688605 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 292.7 | 未变 | 限售流通股 | 1.45% | 2025-03-31 |
| 13 | 600877 | 中微半导体(深圳)股份有限公司 | 1829.7 | 未变 | 流通A股 | 1.55% | 2025-03-31 |
| 14 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 2051.63 | 未变 | 流通A股 | 7.37% | 2024-12-31 |
| 15 | 600877 | 中微半导体(深圳)股份有限公司 | 1829.7 | 未变 | 流通A股 | 1.55% | 2024-12-31 |
| 16 | 688605 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 292.7 | 未变 | 限售流通股 | 1.45% | 2024-12-31 |
| 17 | 688605 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 292.7 | 未变 | 限售流通股 | 1.45% | 2024-12-12 |
| 18 | 688605 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 292.7 | 未变 | 限售流通股 | 1.93% | 2024-12-02 |
| 19 | 688605 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 292.70 | 未变 | 境内法人股 | 1.93% | 2024-11-22 |
| 20 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 2051.63 | 未变 | 流通A股 | 7.37% | 2024-09-30 |
| 21 | 600877 | 中微半导体(深圳)股份有限公司 | 1829.7 | 未变 | 流通A股 | 1.55% | 2024-09-30 |
| 22 | 688605 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 292.7 | 未变 | 限售流通股 | 1.93% | 2024-08-23 |
| 23 | 688605 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 292.70 | 未变 | 境内法人股 | 1.93% | 2024-08-09 |
| 24 | 600877 | 中微半导体(深圳)股份有限公司 | 1829.7 | 未变 | 流通A股 | 1.55% | 2024-06-30 |
| 25 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 2051.63 | 增持 | 流通A股 | 7.37% | 2024-06-30 |
| 26 | 600877 | 中微半导体(深圳)股份有限公司 | 1829.7 | 未变 | 流通A股 | 1.55% | 2024-03-31 |
| 27 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 1386.24 | 未变 | 流通A股 | 7.37% | 2024-03-31 |
| 28 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 1386.24 | 未变 | 流通A股 | 7.37% | 2024-03-11 |
| 29 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 1386.24 | 未变 | 流通A股 | 7.37% | 2024-03-01 |
| 30 | 600877 | 中微半导体(深圳)股份有限公司 | 1829.7 | 未变 | 流通A股 | 1.55% | 2023-12-31 |
| 31 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 1386.24 | 未变 | 流通A股 | 7.37% | 2023-12-31 |
| 32 | 600877 | 中微半导体(深圳)股份有限公司 | 1829.7 | 未变 | 流通A股 | 1.55% | 2023-09-30 |
| 33 | 688170 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 191 | 未变 | 限售流通股 | 1.85% | 2023-09-30 |
| 34 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 1386.24 | 增持 | 流通A股 | 7.41% | 2023-09-30 |
| 35 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 936.65 | 未变 | 流通A股 | 7.41% | 2023-08-16 |
| 36 | 688170 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 191 | 未变 | 限售流通股 | 1.85% | 2023-06-30 |
| 37 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 936.65 | 减持 | 流通A股 | 7.41% | 2023-06-30 |
| 38 | 600877 | 中微半导体(深圳)股份有限公司 | 1829.7 | 未变 | 流通A股 | 1.55% | 2023-06-30 |
| 39 | 688605 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 292.7 | 新进 | 限售流通股 | 1.93% | 2023-06-08 |
| 40 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 991.31 | 减持 | 流通A股 | 7.84% | 2023-05-26 |
| 41 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 1062.25 | 未变 | 流通A股 | 8.4% | 2023-04-27 |
| 42 | 688478 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 93.7 | 未变 | 限售流通股 | 0.9% | 2023-04-11 |
| 43 | 600877 | 中微半导体(深圳)股份有限公司 | 1829.7 | 未变 | 流通A股 | 1.55% | 2023-03-31 |
| 44 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 1062.25 | 未变 | 限售流通A股 | 8.4% | 2023-03-31 |
| 45 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 1062.25 | 未变 | 限售流通股 | 8.4% | 2022-12-31 |
| 46 | 600877 | 中微半导体(深圳)股份有限公司 | 1829.7 | 未变 | 流通A股 | 1.55% | 2022-12-31 |
| 47 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 1062.25 | 未变 | 限售流通股 | 8.4% | 2022-09-30 |
| 48 | 600877 | 中微半导体(深圳)股份有限公司 | 1829.7 | 未变 | 限售流通股 | 1.55% | 2022-09-30 |
| 49 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 1062.25 | 未变 | 限售流通股 | 8.4% | 2022-06-30 |
| 50 | 600877 | 中微半导体(深圳)股份有限公司 | 1829.7 | 未变 | 限售流通股 | 1.55% | 2022-06-30 |
| 51 | 688478 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 93.7 | 新进 | 限售流通股 | 0.9% | 2022-04-27 |
| 52 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 1062.25 | 未变 | 限售流通股 | 8.4% | 2022-04-20 |
| 53 | 688170 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 191 | 未变 | 限售流通股 | 2.46% | 2022-04-20 |
| 54 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 1062.25 | 新进 | 限售流通股 | 11.2% | 2022-04-08 |
| 55 | 600877 | 中微半导体(深圳)股份有限公司 | 1829.7 | 未变 | 限售流通股 | 1.55% | 2022-03-31 |
| 56 | 688234 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 383.1 | 未变 | 限售流通股 | 0.99% | 2021-12-31 |
| 57 | 600877 | 中微半导体(深圳)股份有限公司 | 1829.7 | 未变 | 限售流通股 | 1.55% | 2021-12-31 |
| 58 | 688234 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 383.10 | 新进 | 限售流通股 | 0.99% | 2021-12-30 |
| 59 | 600877 | 中微半导体(深圳)股份有限公司 | 1829.70 | 未变 | 1.55% | 2021-12-24 | |
| 60 | 600877 | 中微半导体(深圳)股份有限公司 | 1829.7 | 未变 | 限售流通股 | 1.84% | 2021-12-10 |
| 61 | 600877 | 中微半导体(深圳)股份有限公司 | 1829.70 | 新进 | 1.84% | 2021-11-26 | |
| 62 | 688170 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 191.00 | 新进 | 2.46% | 2021-06-25 | |
| 63 | 688012 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司未确认持有人证券专用账户 | 2482.15 | 未变 | 4.64% | 2020-12-31 | |
| 64 | 688012 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司未确认持有人证券专用账户 | 2482.15 | 未变 | 限售流通股 | 4.64% | 2020-09-30 |
| 65 | 688012 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司未确认持有人证券专用账户 | 2482.15 | 未变 | 4.64% | 2020-08-12 | |
| 66 | 688012 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司未确认持有人证券专用账户 | 2482.15 | 未变 | 限售流通股 | 0% | 2020-08-11 |
| 67 | 688012 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司未确认持有人证券专用账户 | 2482.15 | 未变 | 4.64% | 2020-06-30 | |
| 68 | 688012 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司未确认持有人证券专用账户 | 2482.15 | 减持 | 4.64% | 2020-03-31 | |
| 69 | 688012 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司未确认持有人证券专用账户 | 7626.55 | 未变 | 14.26% | 2019-12-31 | |
| 70 | 688012 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司未确认持有人证券专用账户 | 7626.55 | 新进 | 14.26% | 2019-09-30 |
| 序号 | 股票 | 股东 | 持股数量(万股) | 持股变动 | 股份性质 | 占总股本比例 | 报告期 |
| 1 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 2051.63 | 未变 | 国有股 | 7.334% | 2025-09-30 |
| 2 | 688478 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 92.7 | 新进 | 国有股 | 0.896% | 2025-09-30 |
| 3 | 600877 | 中微半导体(深圳)股份有限公司 | 1829.7 | 未变 | 境内法人股 | 1.545% | 2025-09-30 |
| 4 | 600877 | 中微半导体(深圳)股份有限公司 | 1829.7 | 未变 | 境内法人股 | 1.545% | 2025-06-30 |
| 5 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 2051.63 | 未变 | 国有股 | 7.334% | 2025-06-30 |
| 6 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 2051.63 | 未变 | 国有股 | 13.215% | 2025-03-31 |
| 7 | 600877 | 中微半导体(深圳)股份有限公司 | 1829.7 | 未变 | 境内法人股 | 1.545% | 2025-03-31 |
| 8 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 2051.63 | 未变 | 国有股 | 13.336% | 2024-12-31 |
| 9 | 600877 | 中微半导体(深圳)股份有限公司 | 1829.7 | 未变 | 境内法人股 | 1.545% | 2024-12-31 |
| 10 | 600877 | 中微半导体(深圳)股份有限公司 | 1829.7 | 未变 | 境内法人股 | 1.985% | 2024-09-30 |
| 11 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 2051.63 | 未变 | 国有股 | 13.336% | 2024-09-30 |
| 12 | 600877 | 中微半导体(深圳)股份有限公司 | 1829.7 | 未变 | 境内法人股 | 1.985% | 2024-06-30 |
| 13 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 2051.63 | 增持 | 国有股 | 13.336% | 2024-06-30 |
| 14 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 1386.24 | 未变 | 国有股 | 13.465% | 2024-03-31 |
| 15 | 600877 | 中微半导体(深圳)股份有限公司 | 1829.7 | 未变 | 境内法人股 | 1.985% | 2024-03-31 |
| 16 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 1386.24 | 未变 | 国有股 | 13.465% | 2024-03-11 |
| 17 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 1386.24 | 未变 | 国有股 | 13.465% | 2024-03-01 |
| 18 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 1386.24 | 未变 | 国有股 | 13.448% | 2023-12-31 |
| 19 | 600877 | 中微半导体(深圳)股份有限公司 | 1829.7 | 未变 | 境内法人股 | 1.985% | 2023-12-31 |
| 20 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 1386.24 | 增持 | 国有股 | 13.448% | 2023-09-30 |
| 21 | 600877 | 中微半导体(深圳)股份有限公司 | 1829.7 | 未变 | 境内法人股 | 1.985% | 2023-09-30 |
| 22 | 688072 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 936.65 | 新进 | 国有股 | 13.448% | 2023-06-30 |
| 23 | 600877 | 中微半导体(深圳)股份有限公司 | 1829.7 | 未变 | 境内法人股 | 1.985% | 2023-06-30 |
| 24 | 600877 | 中微半导体(深圳)股份有限公司 | 1829.7 | 未变 | A股 | 1.98% | 2023-03-31 |
| 25 | 600877 | 中微半导体(深圳)股份有限公司 | 1829.7 | 新进 | 境内法人股 | 2.249% | 2022-12-31 |
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