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| 序号 | 股票 | 股东 | 持股数量(万股) | 持股变动 | 股份性质 | 占总股本比例 | 报告期 |
| 1 | 688211 | 中科微至科技股份有限公司回购专用证券账户 | 452.95 | 增持 | 流通A股 | 3.44% | 2024-07-17 |
| 2 | 688211 | 中科微至科技股份有限公司回购专用证券账户 | 323.90 | 新进 | 流通A股 | 2.46% | 2023-11-17 |
| 序号 | 股票 | 股东 | 持股数量(万股) | 持股变动 | 股份性质 | 占总股本比例 | 报告期 |
| 1 | 688211 | 中科微至科技股份有限公司-第二期员工持股计划 | 53.04 | 未变 | 境内法人股 | 0.816% | 2025-03-31 |
| 2 | 688211 | 中科微至科技股份有限公司-第二期员工持股计划 | 53.04 | 未变 | 境内法人股 | 0.816% | 2024-12-31 |
| 3 | 688211 | 中科微至科技股份有限公司-第二期员工持股计划 | 53.04 | 新进 | 境内法人股 | 0.816% | 2024-09-30 |
| 4 | 688211 | 中科微至科技股份有限公司-第一期员工持股计划 | 45.77 | 未变 | 境内法人股 | 0.704% | 2024-09-30 |
| 5 | 688211 | 中科微至科技股份有限公司回购专用证券账户 | 452.95 | 增持 | 境内法人股 | 6.968% | 2024-07-17 |
| 6 | 688211 | 中科微至科技股份有限公司-第一期员工持股计划 | 45.77 | 未变 | 境内法人股 | 0.704% | 2024-07-17 |
| 7 | 688211 | 中科微至科技股份有限公司-第一期员工持股计划 | 45.77 | 未变 | 境内法人股 | 0.704% | 2024-06-30 |
| 8 | 688211 | 中科微至科技股份有限公司-第一期员工持股计划 | 45.77 | 未变 | 境内法人股 | 0.704% | 2024-03-31 |
| 9 | 688211 | 中科微至科技股份有限公司-第一期员工持股计划 | 45.77 | 未变 | 境内法人股 | 0.704% | 2023-12-31 |
| 10 | 688211 | 中科微至科技股份有限公司回购专用证券账户 | 323.90 | 新进 | 流通A股 | 4.98% | 2023-11-17 |
| 11 | 688211 | 中科微至科技股份有限公司-第一期员工持股计划 | 45.77 | 未变 | 流通A股 | 0.7% | 2023-11-17 |
| 12 | 688211 | 中科微至科技股份有限公司-第一期员工持股计划 | 45.77 | 减持 | 境内法人股 | 0.708% | 2023-09-30 |
| 13 | 688211 | 中科微至科技股份有限公司-第一期员工持股计划 | 50.85 | 新进 | 境内法人股 | 1.578% | 2022-09-30 |
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