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| 序号 | 股票 | 股东 | 持股数量(万股) | 持股变动 | 股份性质 | 占总股本比例 | 报告期 |
| 1 | 301611 | 北京诺华资本投资管理有限公司-北京集成电路装备产业投资并购基金(有限合伙) | 302.03 | 未变 | 国有股 | 2.06% | 2026-09-30 |
| 2 | 301611 | 北京诺华资本投资管理有限公司-北京集成电路装备产业投资并购基金(有限合伙) | 302.03 | 减持 | 国有股 | 2.06% | 2026-06-30 |
| 3 | 301611 | 北京诺华资本投资管理有限公司-北京集成电路装备产业投资并购基金(有限合伙) | 365.85 | 减持 | 国有股 | 2.496% | 2026-03-31 |
| 4 | 688605 | 北京诺华资本投资管理有限公司-北京集成电路装备产业投资并购基金(有限合伙) | 260.89 | 未变 | 国有股 | 2.408% | 2026-03-31 |
| 5 | 688605 | 北京诺华资本投资管理有限公司-北京集成电路装备产业投资并购基金(有限合伙) | 260.89 | 新进 | 境内法人股 | 2.408% | 2025-12-31 |
| 6 | 301611 | 北京诺华资本投资管理有限公司-北京集成电路装备产业投资并购基金(有限合伙) | 400.96 | 减持 | 国有股 | 2.735% | 2025-12-31 |
| 7 | 301611 | 北京诺华资本投资管理有限公司-北京集成电路装备产业投资并购基金(有限合伙) | 836.96 | 新进 | A股 | 5.71% | 2025-09-30 |
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